[发明专利]等离子避电器插件

权利要求书

1.一种可用于室晶片处理系统的电介质避电器插件，该系统具有气体输入管线、避电器框架和晶片处理空间，该输入管线可运行以提供气体至该避电器框架，该避电器框架可运行以容置所述电介质避电器插件，所述电介质避电器插件包括：

气体入口部分，布置为从该输入管线接收气体；

非直线通道；以及

气体出口部分，

其中所述非直线通道布置为将气体从该气体入口部分传输至该气体出口部分，以及

其中所述气体出口部分布置为将气体从该非直线通道传输至该晶片处理空间。

2.根据权利要求1所述的电介质避电器插件，其中所述非直线通道包括螺旋状通道。

3.根据权利要求2所述的电介质避电器插件，其中所述螺旋状通道具有矩形截面形状。

4.根据权利要求2所述的电介质避电器插件，其中所述螺旋状通道具有弧形截面形状。

5.根据权利要求2所述的电介质避电器插件，其中所述螺旋状通道具有三角形截面形状。

6.根据权利要求1所述的电介质避电器插件，进一步包括：

第二气体入口部分，布置为从该输入管线接收气体；

第二非直线通道；以及

第二气体出口部分，

其中所述第二非直线通道布置为将该气体从所述第二气体入口部分传输至所述第二气体出口部分，以及

其中所述第二气体出口部分布置为将该气体从所述第二非直线通道传输至该晶片处理空间。

7.根据权利要求1所述的电介质避电器插件，其中所述非直线通道包括蜿蜒通道。