[发明专利]平版印刷系统中的有用物传送系统

说明书

本分案申请是基于申请号为“200480036514.7”、申请日为2004年12月6日，发明名称为“平版印刷系统中的有用物传送系统”的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明总体上涉及平版印刷系统，更具体而言涉及用于在将有用物传送到晶片或标线片载物台时使这种载物台的物理破坏和污染最小化的技术。

背景技术

平版印刷系统用于通过将半导体晶片暴露于特殊的光图案下来制造半导体器件。这通常由穿过标线片图案而投影在晶片上的闪光来实现。标线片支撑在标线片载物台中，该载物台继而由框架支撑。该标线片载物台以可相对于框架从而相对于晶片精确移动的方式被支撑。该标线片载物台可通过例如致动器等机械装置支撑，或通过采用气压或电磁力的无阻尼技术支撑。在一些平版印刷系统中，支撑晶片的晶片载物台还可相对于支撑框架精确移动。

标线片或晶片载物台需要一种或多种例如电力、电控信号、液体(例如，出于冷却目的)和气体(例如，起导体作用)的有用物来实现其功能。这些有用物通常通过柔性缆线或软管传送到载物台或从载物台传送。通常，这些有用物在载物台和支撑框架之间传送。不幸地，这种传送技术却存在下述典型问题，包括：载物台与框架间的振动传输、由连接软管和缆线带来的微粒生成、以及由软管和缆线带来的泄漏。振动传输由于缆线和软管在载物台与框架之间提供振动路径而发生。这导致了载物台定位性能的降低。此外，如果缆线和软管的自然态受到载物台动作或基座动作的激发，则会导致缆线和软管振动。微粒的产生成为问题是因为移动缆线和软管会在它们弯曲、挠曲以及在固定表面上摩擦时产生微粒。如果这些微粒被转移到标线片、光学件、晶片或度量装置，则它们会降低平版印刷工艺的性能。最后，由于柔性软管会断开，因此总是有泄漏的危险。

降低这些问题的危险的已有解决方案会导致不易弯曲、庞大或大弯曲半径的缆线和软管，它们耗费空间或使振动传输恶化。其它一些降低这些危险的解决方案包括将冷却剂局限为一种不及水有效、但蒸发迅速并对系统各部件无腐蚀的冷却剂。

这些问题对于要求极高容差的下一代平版印刷(NGL)系统尤其成问题。一种NGL系统的类型是极远紫外线(EUV)系统，其在真空管中操作并采用特殊涂敷的反射镜光学器件。EUV系统中的标线片支撑在卡盘的一侧，该卡盘附接于标线片载物台，从而照射源发出的光可从标线片反射离开。除了已经论述的问题，EUV系统存在其它与柔性缆线和软管相关的问题。举例来说，水和碳氢化合物从柔性软管的渗气会对光学元件的寿命产生负面影响。例如，水会腐蚀光学元件并且这种损害是不可挽回的。此外，随着时间的推移碳氢化合物会降低光学反射率，这将降低系统通过量。渗气也不利地影响到达操作真空度的时间。作为可能解决方案的烘焙缆线和软管只会使它们更难以弯曲，继而会进一步恶化这些问题。

考虑到上述问题，用于不伴随物理破坏或污染微粒或气体地向标线片或晶片载物台传送有用物的方法将是理想的。

发明内容

本发明涉及一种用于在平版印刷系统中向着或从标线片或晶片载物台传送有用物同时使影响载物台的物理破坏最小化的技术。这些技术包括向着或从载物台传送有用物而不与载物台物理接触。可选地，有用物在载物台处于静止位置时，通过与载物台物理接触而传送。

本发明的一方面涉及具有变压器、载物台和框架的平版印刷系统。该变压器包括感应芯、初级感应线圈和次级感应线圈，其中该感应芯具有第一和第二端，并且该初级线圈卷绕该感应芯的第一端。该载物台适于支撑晶片或标线片，其中该载物台容纳次级感应线圈，并且该框架支撑该载物台和感应芯从而该感应芯的第二端延伸到次级感应线圈中，其中感应芯的每个侧面保持与次级感应线圈的内表面分离一段最小距离，从而供应给初级感应线圈的电力可由次级感应线圈汲取。

本发明的另一方面涉及一种平版印刷系统，具有适于支撑晶片或标线片的载物台、支撑该载物台的框架、用于在载物台和框架之间传送有用物的位于载物台表面上或表面内的载物台有用物传送装置、以及用于在平台和框架之间传送有用物的位于框架表面内或表面上的框架有用物传送装置，从而该载物台和该框架可保持彼此之间的物理分离同时在载物台和框架之间传送有用物。

本发明的再一方面涉及一种用于在平版印刷系统的载物台和基座之间传送有用物的方法。该方法包括在框架和载物台之间连接供给通道、在载物台和框架之间通过该被连接的供给通道传送有用物、以及从载物台上断开供给通道。该方法的一种特殊实施方式还包括在连接供给通道之前使载物台从扫描动作稳定到静止位置，然后在断开供给通道之后使载物台恢复扫描动作。