[发明专利]一种基于光纤阵列的反射式角位移传感器及测量方法

权利要求书

1.一种基于光纤阵列的反射式角位移传感器及测量方法，包括光源系统、传感器单元和信号处理单元，所述的传感器单元包括入射光纤(13)、含光纤阵列的传感器探头(14)、光电接收器CCD(15)；所述的光纤阵列由13根光纤组成；所述的入射光纤(13)为普通单模通信光纤，一端与光源(11)相连，另一端位于传感器探头(14)中光纤阵列的中心位置；光纤阵列中的其它12根光纤都是多模光纤，并以入射光纤为中心，分布在其周围，作为接收光纤组，接收被测角位移引起的反射光信号，它们的另一端与光电接收器CCD(15)相连；所述的光电接收器CCD(15)与所述的信号处理单元(16)相连。

2.按照权利要求1所述的基于光纤阵列的反射式角位移传感器及测量方法，其特征在于：所述的光纤阵列中的13根光纤按十字形结构排列，其中入射光纤在十字形结构的中心，其他12根接收光纤对称均布在十字形结构的周围。

3.按照权利要求1或2所述的基于光纤阵列的反射式角位移传感器及测量方法，其特征在于：所述的光源采用中心波长为650nm的LD激光光源，所述的单模发射光纤纤芯/包层直径为9μm/125μm，多模接收光纤纤芯/包层直径为62.5μm/125μm。

4.按照权利要求1或2所述的基于光纤阵列的反射式角位移传感器及测量方法，其特征在于：所述的CCD为低暗电流的，信噪比为56dB。所述的光纤阵列中光纤之间的间距为135μm。