[发明专利]一种缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种缓蚀剂，其特征在于由以下组份组成：

改性咪唑啉衍生物、1，4-丁炔二醇、硫脲、十二烷基苯磺酸钠、乌洛托品、溶剂，其中改性咪唑啉衍生物、1，4-丁炔二醇、硫脲、十二烷基苯磺酸钠、乌洛托品的质量比为(20～50)∶(1～2)∶(1～12)∶(1～5)∶(2～4)，所述溶剂的质量占总质量的比例为30～70％。

2.根据权利要求1所述的缓蚀剂，其特征是：所述的溶剂为水或醇或其混合物。

3.根据权利要求2所述的缓蚀剂，其特征是：所述的溶剂为异丙醇。

4.一种权利要求1所述的缓蚀剂的制备方法，其特征是包括以下步骤：

将所述改性咪唑啉衍生物、1，4-丁炔二醇、硫脲、十二烷基苯磺酸钠、乌洛托品加入溶剂中，搅匀后制得缓蚀剂。

5.根据权利要求4所述的缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述改性咪唑啉衍生物、1，4-丁炔二醇、硫脲、十二烷基苯磺酸钠、乌洛托品的质量比为(20～50)∶(1～2)∶(1～12)∶(1～5)∶(2～4)，所述溶剂的质量占总质量的比例为30～70％。

6.根据权利要求4所述的缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的溶剂为水或醇或其混合物。

7.根据权利要求4所述的缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的溶剂为异丙醇。

8.根据权利要求4所述的缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述改性咪唑啉衍生物的合成方法为：脂肪酸、有机胺在160～230℃下反应3～5小时，降温至50～60℃；加入二硫化碳，在40～70℃下反应2～4小时，加入甲醛，搅拌至不再放热，加入亚磷酸，升温至80～90℃下反应1～2小时，制得改性咪唑啉衍生物；其中，脂肪酸、有机胺、二硫化碳、甲醛、亚磷酸的摩尔比为1∶(1～1.1)∶1∶(1～2)∶(0.5～2)。

9.根据权利要求8所述的缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的脂肪酸为月桂酸或油酸或其混合物。

10.根据权利要求8所述的缓蚀剂的制备方法，其特征是：所述的有机胺为四乙烯五胺或多乙烯多胺。