[发明专利]基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头及其制备方法

权利要求书

1. 一种基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头的制备方法，所述喷印头包括衬底（1）、盖板（2）、毛细通道（6）、主通道（7）和至少一个喷印单元；喷印单元由微腔室（3），第一、第二碳纳米管微气泡发生器（4、5）和喷嘴（8）组成； 

微腔室（3）和主通道（7）均位于衬底（1）的上部，微腔室（3）与主通道（7）之间通过毛细通道（6）连接，盖板（2）的底部上设置有第一、第二碳纳米管微气泡发生器（4、5）；

盖板（2）和衬底（1）封装为一体，且第一、第二碳纳米管微气泡发生器（4、5）位于微腔室的顶部，喷嘴（8）的上部位于微腔室的底部，喷嘴（8）的下部穿透衬底（1），且喷嘴（8）的中心与第一、第二碳纳米管微气泡发生器（4、5）的间隙相对；

当喷印单元的数量多于一个时，各喷印单元成阵列布置；

其特征在于，所述制备方法包括下述步骤：

第1步，在盖板上制备第一、第二碳纳米管微气泡发生器，在衬底上制备微流体结构，微流体结构由所述微腔室、毛细通道、主通道和喷嘴构成；

第2步：按照下述过程将盖板和衬底键合：

(2.1）在制备有第一、第二碳纳米管微气泡发生器的盖板表面涂紫外胶；

(2.2）将盖板固定在干净透明的玻璃板上，作为光刻机对准的掩膜版；

(2.3）将盖板和带微流体结构的衬底间的图形对准；

(2.4）对准后紫外灯曝光3~5分钟； 

(2.5）从玻璃板上取下已键合的盖板和衬底。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，第1步中，在盖板上制备第一、第二碳纳米管微气泡发生器的过程为：

（A1）采用电子束蒸发或溅射，在清洗后的盖板上依次形成厚度为10～30nm的钛膜和厚度为300～400nm金膜；再利用现有剥离工艺形成二个金电极，二个金电极之间的距离为1～10μm；

(A2）在上述金电极上加载交流电压，再将碳纳米管悬浮液滴到电极间，碳纳米管悬浮液由直径为10～30nm碳纳米管与无水乙醇溶剂按0.005～0.05mg/ml比例混合而成；当碳纳米管将电极连通并定位在电极间时，撤除所加交流电压；

(A3）在碳纳米管与金电极的接触部位形成厚度为100～300nm的二氧化硅层，形成第一、第二碳纳米管微气泡发生器。