[发明专利]非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法及专用装置无效
| 申请号： | 201010160526.8 | 申请日： | 2010-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101834234A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李志锋;曹剑忠;蒋宏彬;张红星 | 申请（专利权）人： | 江苏综艺光伏有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/20 | 分类号： | H01L31/20 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 许方 |
| 地址： | 226376 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 非晶硅 太阳能电池 刻蚀 不良 修复 方法 专用 装置 | ||
1.一种非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法，其特征在于：通过对不良品中存在细微金属残留而出现短路点的两个电池单元之间施加反向直流电压，使形成短路点的细微金属残留熔断，从而修复所述不良品；其中施加的反向直流电压为10-30V。
2.一种实施权利要求1所述非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法的专用装置，包括直流电源和两组导电的探针，两组探针分别与直流电源的正极、负极电连接。
3.如权利要求2所述非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法的专用装置，其特征在于：所述直流电源为可调节输出电压的直流电源。
4.如权利要求2所述非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法的专用装置，其特征在于：所述两组探针其中一组的每支探针均通过稳压二极管与所述直流电源连接。
5.如权利要求2所述非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法的专用装置，其特征在于：还包括探针座、探针座固定支架以及操作平台；探针座固定支架与操作平台侧面通过横向传动机构连接，所述横向传动机构可使探针座固定支架沿平行于操作平台台面的方向滑动；探针座通过纵向传动机构与探针座固定支架连接且可通过所述纵向传动机构沿垂直于操作平台台面的方向上下运动；探针尾部固定于探针座，探针头垂直向下指向操作平台台面，两组探针沿与探针座固定支架滑动方向垂直且与操作平台台面平行的方向等间距地排成两列。
6.如权利要求5所述非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法的专用装置，其特征在于：所述探针通过弹性装置固定于探针座上。
7.如权利要求6所述非晶硅太阳能电池刻蚀不良品的修复方法的专用装置，其特征在于：所述弹性装置为弹簧。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
