[发明专利]一种用于扫描隧道显微镜的光收集装置

权利要求书

1.一种用于扫描隧道显微镜的光收集装置，包括从上到下依次设置的 反射镜、显微镜探针、成像系统和光接收传导装置，其中，

所述反射镜为半顶角为45度的圆锥面反射镜；

所述显微镜探针设置在所述圆锥面反射镜的中轴线上；

所述成像系统被设置为其物面位于经所述圆锥面反射镜所形成的虚 像所在的平面内，所述成像系统的像面位于所述光接收传导装置的一端。

2.根据权利要求1所述光收集装置，其特征在于，所述成像系统包括 多个透镜的组合。

3.根据权利要求2所述光收集装置，其特征在于，所述成像系统包括 以上下叠放方式布置的两个相同的双面凸透镜，所述双面凸透镜的焦距等 于圆锥面反射镜顶点到上面的双面凸透镜中心的距离。

4.根据权利要求3所述光收集装置，还包括反射镜底座和透镜底座， 其中所述圆锥面反射镜放置于所述反射镜底座上，所述两个双面凸透镜设 置在所述透镜底座与所述反射镜底座之间。

5.根据权利要求4所述光收集装置，其特征在于，所述反射镜底座的 上表面设置有环形槽，用于与所述圆锥面反射镜的底部相配合。

6.根据权利要求4所述光收集装置，还包括用于固定所述两个双面凸 透镜的透镜支柱，该透镜支柱的上端与所述反射镜底座连接，下端与所述 透镜底座连接。

7.根据权利要求6所述光收集装置，其特征在于，所述连接为可拆的。

8.根据权利要求1所述光收集装置，还包括光学测量装置，该光学测 量装置与所述光接收传导装置的另一端相连接。

9.根据权利要求1至8中任一项所述光收集装置，其特征在于，所述 光接收传导装置为光纤传光导。

10.根据权利要求1至8中任一项所述光收集装置，其特征在于，所 述圆锥面反射镜的内表面镀有光学反射薄膜。