[发明专利]溅镀装置

权利要求书

1.一种溅镀装置，其用来对金属材质的待镀工件镀膜，该溅镀装置具有一个用于对该待镀工件进行预热的第一腔体、一个用于对该待镀工件溅镀的第二腔体、一个设置于该第一腔体或该第二腔体内的传动机构及一个连接该第一腔体和该第二腔体的能处于开启或关闭状态的通道，该第一腔体及该第二腔体内设置有多个料杆，其特征在于：该溅镀装置还包括至少一个设置于该传动机构上的磁性元件，该传动机构用于经过该通道在该第一腔体及该第二腔体之间传送该料杆，该磁性元件跟随该传动机构一起运动并能吸起从该料杆上脱落的待镀工件。

2.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该传动机构包括一个驱动件和至少一个传动臂，该至少一个传动臂包括与该驱动件连接的伸缩杆和位于该传动臂的一端用来夹持该料杆的夹具。

3.如权利要求2所述的溅镀装置，其特征在于：该磁性元件设置于该伸缩杆，该第一腔体与该第二腔体的结构相同，且该第一腔体和该第二腔体分别包括一个第一底板和一个第二底板，该磁性元件到该第一底板或该第二底板的距离小于该磁性元件与该夹具之间的距离。

4.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该磁性元件到该第一底板或该第二底板的距离在该磁性元件的磁场能够分布的最大距离以内。

5.如权利要求3所述的溅镀装置，其特征在于：该磁性元件与该夹具之间的距离大于该磁性元件的磁场能够分布的最大距离。

6.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该溅镀装置包括两个分别设置于该第一腔体及该第二腔体内的结构相同的固定架，该固定架用来承载料杆，从该磁性元件远离该夹具的一端到该夹具在沿该伸缩杆的轴向上的距离小于该固定架的半径。

7.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：在该通道内设置有一阀门用来控制该通道的开启与关闭。

8.如权利要求1所述的溅镀装置，其特征在于：该料杆为柱状杆体，该料杆的一端为“T”型端，另一端在靠近端部的位置垂直于该料杆向外延伸有一个凸柱。

9.如权利要求8所述的溅镀装置，其特征在于：该固定架包括两个相对设置的环状上承载盘及下承载盘，该上承载盘及下承载盘之间设置有多个支撑杆，该上承载盘及下承载盘通过该支撑杆支撑固定，在该上承载盘的外缘间隔设置有多个与该“T”型端相对应的卡槽，通过该“T”型端与该卡槽卡合使该料杆能够垂直悬挂于该上承载盘，该下承载盘设置有与该卡槽对应的定位座，该定位座包括一个空心柱及一个收容于该空心柱的连杆机构，该料杆延伸有凸柱的一端通过该连杆机构带动该料杆进行自转。

10.如权利要求9所述的溅镀装置，其特征在于：该连杆机构包括一个主动杆、一个传动杆及一个被动杆，该传动杆的中部铰接固定在该空心柱的侧壁上，该主动杆设置于该空心柱内，该主动杆及该被动杆分别沿该空心柱的轴线方向铰接固定于该传动杆的两端，该料杆对该主动杆施力使该传动杆带动该被动杆运动从而使得该被动杆与该凸柱相互交叉，该定位座旋转时通过该料杆与该连杆机构相互交叉来带动该料杆进行自转。