[发明专利]正型感光性树脂组合物、树脂膜的制造方法、半导体装置和显示元件及其制造方法

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，该组合物包含碱性可溶性树脂(A)、重氮醌化合物(B)、2种或2种以上的混合溶剂(D)，其特征在于，混合溶剂(D)含有γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚，γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚的合计量相对溶剂总量为70重量％或70重量％以上。

2.按照权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，混合溶剂(D)进一步包含有除γ-丁内酯及丙二醇单烷基醚以外的、偶极矩在3.5德拜或3.5德拜以上的溶剂。

3.按照权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，丙二醇单烷基醚选自丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚及丙二醇单丁醚的群组。

4.按照权利要求2或3所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述偶极矩为3.5德拜或3.5德拜以上的溶剂选自N-甲基吡咯烷酮、二甲基亚砜及环丁砜的群组。

5.按照权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，碱性可溶性树脂(A)是含有选自聚苯并噁唑结构、聚苯并噁唑前体结构、聚酰亚胺结构、聚酰亚胺前体结构及聚酰胺酸酯结构的1种或1种以上结构的树脂。

6.按照权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，碱性可溶性树脂(A)是用下列通式(1)表示的结构：

X：2～4价的有机基团，

Y：2～6价的有机基团，

R₁：羟基、-O-R₃、m为0～2的整数，既可以相异也可以相同，

R₂：羟基、羧基、-O-R₃、-COO-R₃、n为0～4的整数，既可以相异也可以相同，

R₃：碳原子数1～15的有机基团

但是，当R₁不是羟基时，R₂至少1个必须是羧基，或，当R₂不是羧基时，R₁至少1个必须是羟基，

Z：

其中R₄、R₅为2价的有机基团，

R₆、R₇为1价的有机基团，且它们既可以相异也可以相同，

a、b表示摩尔分数，a+b＝100摩尔％，a＝60～100摩尔％，b＝0～40摩尔％。

7.一种图案状树脂膜的制造方法，其特征在于，该方法具有：把上述权利要求1所述的正型感光性树脂组合物涂布在基板上来形成组合物层的工序；对该组合物层照射活性能量线，使其与显影液接触，来形成图案的工序；加热该组合物的工序。

8.一种半导体装置，其特征在于，采用权利要求1所述的正型感光性树脂组合物来制成。

9.一种显示元件，其特征在于，采用权利要求1所述的正型感光性树脂组合物来制成。

10.一种半导体装置的制造方法，其特征在于，把权利要求1所述的正型感光性树脂组合物涂布在半导体元件上，使加热后的膜厚为0.1～50μm，然后，进行预烘烤、曝光、显影、加热来得到。

11.一种显示元件的制造方法，其特征在于，把权利要求1所述的正型感光性树脂组合物涂布在显示元件用构件上，使加热后的膜厚为0.1～50μm，然后，进行预烘烤、曝光、显影、加热来得到。