[发明专利]一种微型电容式气体传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种微型电容式气体传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

①在硅衬底上制备下电极薄膜，并图形化形成下电极平板；

②采用化学气相沉积法在下电极平板上制备氮化硅或氮氧硅薄膜，并刻蚀 薄膜形成支柱；

③旋涂玻璃，其厚度与支柱的高度一致；

④采用化学气相沉积法在玻璃牺牲层上制备掺杂的多晶硅作为上电极平 板，形成平板电容器；

⑤采用HF酸去除玻璃牺牲层，释放空腔结构，形成具有空腔结构的平板电 容器；

⑥采用浸渍法在具有空腔结构的平板电容器的支柱上以及上、下电极平板 的内表面上涂覆介质薄膜，形成具有如下结构的微型平板电容式气体传感器： (A)相邻支柱上的介质薄膜彼此不接触，保留的空腔结构形成气体扩散通道；(B) 上电极平板上不设置气孔，上电极平板和下电极平板之间的侧壁开放，使气体 从侧壁进入。

2.根据权利要求1所述的微型电容式气体传感器的制备方法，其特征在于， 所述介质薄膜是有机介质薄膜或无机氧化物介质薄膜，无机氧化物介质薄膜采 用金属有机物作为前驱溶液，浸渍涂覆后经热处理形成无机氧化物薄膜。