[发明专利]一种探测晶片偏移位置的方法

权利要求书

1.一种探测晶片偏移位置的方法，该方法在晶片周围设置若干探测器，其特征在于，将所述的探测器的探测方向沿晶片预定位置的径向布置，任意两个探测器之间都不存在线性位置关系，探测器相对于晶片预定位置以及制程室的位置固定，利用该若干探测器进行探测的方法包含以下步骤：

步骤1、判断设置了几个探测器，若探测器个数n＝2，则进行步骤2，若探测器个数n＝3，则进行步骤3，若探测器个数n≥4，则进行步骤4；

步骤2、利用两点法进行探测，计算得到晶片圆心偏移距离和偏移角度；

步骤3、选择测量计算方法，若采用两点法，则进行步骤3.1，若采用三点法，则进行步骤3.2；

步骤3.1、重复采用两点法计算得到晶片圆心偏移距离和偏移角度；

步骤3.2、采用三点法计算得到偏移后晶片的圆心坐标；

步骤4、选择测量计算方法，若采用均值两点法，则进行步骤4.1，若采用均值三点法，则进行步骤4.2；

步骤4.1、采用均值两点法计算得到晶片圆心偏移距离和偏移角度；

步骤4.2、采用均值三点法计算得到偏移后晶片的圆心坐标。

2.如权利要求1所述的探测晶片偏移位置的方法，其特征在于，所述的步骤2中，预定位置上的晶片圆心为O，发生偏移后的晶片圆心为O’，探测器a和b探测到的预定位置上的晶片边缘上的两探测点分别为A和B，探测器探测到的偏移后的晶片边缘上的两探测点分别为A’和B’；

所述的步骤2包含以下步骤：

步骤2.1、探测器探测得到晶片边缘偏移距离AA’和BB’；

步骤2.2、探测器探测得到晶片安装角度∠OAA’和∠OBB’；

步骤2.3、计算偏移后的晶片边缘A’和B’到晶片预定位置圆心O的距离：

OA′=AA′2+OA2-2AA′OAcos(∠OAA′)]]>

OB′=BB′2+OB2-2BB′OBcos(∠OBB′)]]>

其中，OA＝OB＝晶片半径；

步骤2.4、计算晶片边缘相对于晶片预定位置圆心O偏移的角度：

∠AOA’＝arccos((OA’²+OA²-AA’²)/(2×OA×OA’))；

∠BOB’＝arccos((OB’²+OB²-BB’²)/(2×OB×OB’))；

步骤2.5、计算偏移后的晶片边缘OA’和OB’之间的夹角：

∠A’OB’＝∠AOB-∠AOA’-∠BOB’；

步骤2.6、计算偏移后的晶片边缘A’和B’之间的距离：

A′B′=OA′2+OB′2-2OA′OB′cos(∠A′OB′)]]>

步骤2.7、计算A’B’和OB’之间的夹角：

∠A’B’O＝arccos((OB’²+A’B’²-OA’²)/(2×OB’×A’B’))；

步骤2.8、计算A’B’和O’B’之间的夹角：

∠A’B’O’＝arccos((O’B’²+A’B’²-O’A’²)/(2×O’B’×A’B’))；

步骤2.9、计算OB’和B’O’之间的夹角：

∠OB’O’＝∠A’B’O’-∠A’B’O；

步骤2.10、计算晶片预定位置圆心O和偏移后晶片圆心O’之间的距离：

OO′=OB′2+O′B′2-2OB′O′B′cos(∠OB′O′)]]>

从而获得了晶片圆心偏移距离；

步骤2.11、计算B’O和OO’之间的夹角：

∠B’OO’＝arccos((B’O²+OO’²-B’O’²)/(2×OB’×OO’))；

步骤2.12、计算OO’和X轴之间的夹角：

∠XOO’＝∠B’OO’-∠B’OB-∠BOX；

从而获得了晶片圆心偏移角度。