[发明专利]一种自适应变阻尼超精密减振器

权利要求书

1.一种自适应变阻尼超精密减振器，其特征在于，该超精密减振器的结构为：

金属壳体（1）外部呈上端开口的圆柱形，金属壳体（1）内部中空，且由隔板（10）隔离为上下两个中空部分，其剖面呈H形；下部的中空部分形成下腔室（3），上部的中空部分与活塞机构（6）通过膜结构密封连接形成上腔室（2）；在下腔室（3）底部开有进气口（9），下腔室（3）与上腔室（2）之间安装有带节流阀（8）的连通管路；

负载连接板（7）与活塞机构（６）上端面固定连接；负载连接板（7）上装有绝对速度传感器（15），在金属壳体（1）上端部装有非接触式的电涡流接近传感器（16），在金属壳体（1）与负载连接板（7）之间安装有主动执行器，负载连接板（7）用于与负载（20）固定连接。

2.根据权利要求1所述的自适应变阻尼超精密减振器，其特征在于，膜结构包括密封薄膜（11）、压紧环（12）和压紧螺钉（13）；密封薄膜（11）边沿通过压紧环（12）紧压在金属壳体（1）端部；通过在压紧环（12）端部均布的压紧螺钉（13）使压紧环（12）与金属壳体（1）固连。

3.根据权利要求1或2所述的自适应变阻尼超精密减振器，其特征在于，所述带节流阀（8）的连通管路的结构为：上腔室侧壁开有小孔（21），与第一连接导管（4）相连；下腔室侧壁开有小孔（31），与第二连接导管（5）相连，第一连接导管（4）和第二连接导管（5）通过节流阀（8）连通，且节流阀（8）为电磁节流阀。

4.根据权利要求1或2所述的自适应变阻尼超精密减振器，其特征在于，主动执行器为音圈电机，金属壳体（1）和负载连接板（7）中的一个与音圈电机的定子固定连接，金属壳体（1）和负载连接板（7）中的另一个与音圈电机的动子固定连接。

5.根据权利要求1或2所述的自适应变阻尼超精密减振器，其特征在于，主动执行器为压电陶瓷或超磁致伸缩，压电陶瓷或超磁致伸缩的一端与金属壳体（1）固定连接，另一端与负载连接板（7）固定连接。