[发明专利]适合于将构件放置在衬底上的装置及其方法

权利要求书

1.一种适合于将构件放置在衬底上的装置，所述装置设有构件供给装置、包括吸嘴的构件拾放装置、衬底载体、用于将所述构件拾放装置从所述构件供给装置移动至所述衬底载体和反向移动的机构以及用于在所述构件拾放装置从所述构件供给装置移动至所述衬底载体和反向移动的期间确定所述构件拾放装置的位置的综合测量系统，其特征在于，所述装置还设有远离所述综合测量系统的局部测量系统，该局部测量系统用于在所述衬底上的构件的期望位置的附近几乎连续地确定所述构件拾放装置相对于所述衬底的位置，所述局部测量系统位于比所述综合测量系统更靠近所述衬底载体的位置。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述局部测量系统包括位于所述衬底载体的附近的栅格以及至少一个连接到所述构件拾放装置的传感器，通过所述传感器可确定所述构件拾放装置相对于所述栅格的位置。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述吸嘴至少可在平行于所述衬底载体而延伸的平面中相对于所述构件拾放装置而移动，其中，所述传感器连接到所述吸嘴上。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述构件拾放装置设有第一成像装置，该第一成像装置用于确定所述衬底上的构件相对于所述栅格的期望位置。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置设有第二成像装置，该第二成像装置用于确定由所述构件拾放装置的吸嘴拾取的构件相对于所述吸嘴的位置。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置包括基准元件，该基准元件设有至少第一标记和第二标记中的一个，其中，在通过所述第二成像装置而产生所述构件的图像的期间，同时由所述第一成像装置和所述第二成像装置分别产生所述第一标记和所述第二标记的图像。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述基准元件至少包括第三标记，在通过所述第一成像装置和所述第二成像装置而产生图像的期间，通过所述传感器而可察觉所述第三标记。

8.一种适合于将构件放置在衬底上的方法，所述装置设有构件供给装置、包括吸嘴的构件拾放装置、衬底载体、用于将所述构件拾放装置从所述构件供给装置移动至所述衬底载体和反向移动的机构以及用于在所述构件拾放装置从所述构件供给装置移动至所述衬底载体和反向移动的期间确定所述构件拾放装置的位置的综合测量系统，其特征在于，在所述构件拾放装置从所述构件供给装置移动至由所述衬底载体支撑的衬底的期间，通过所述综合测量系统而确定所述构件拾放装置的位置，而在所述衬底上的构件的期望位置的附近，通过局部测量系统而几乎连续地确定所述构件拾放装置的位置，所述局部测量系统位于比所述综合测量系统更靠近所述衬底载体的位置。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述局部测量系统包括位于所述衬底载体的附近的栅格以及至少一个连接到所述构件拾放装置的传感器，通过所述传感器而可确定所述构件拾放装置相对于所述栅格的位置。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，通过连接到所述构件拾放装置上的第一成像装置而确定所述衬底上的构件相对于所述栅格的期望位置。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，通过第二成像装置而确定由所述构件拾放装置的吸嘴拾取的构件相对于所述吸嘴的位置。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，所述装置包括基准元件，该基准元件设有至少第一标记和第二标记，其中，在通过所述第二成像装置而产生所述构件的图像的期间，同时由所述第一成像装置和所述第二成像装置分别产生所述第一标记和所述第二标记的图像。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述基准元件至少包括第三标记，其中，在通过所述第一成像装置和所述第二成像装置而产生图像的期间，通过所述传感器而可察觉所述第三标记。