[发明专利]内嵌RFID的IC封装托盘、制造机台以及电子元件制造方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种在电子元件制造期间所使用的托盘，且特别是有关于一种使用该托盘的系统和方法，确保托盘可以重复使用。

背景技术

在一些像是半导体集成电路元件等的电子元件制造中，这些元件会被放置在一些托盘中，而这些托盘可以收纳和保护这些元件免于受到不同程序、工艺、测试和组装机台操作时所产生的损害。另外，这些托盘也可以固定电子元件的方向，以确保这些电子元件在进行测试或要被安装在印刷电路板期间，可以在适当的位置上并且被排列整齐。一般来说，完成一个电子成品，不同工艺是分散在各个位置进行，因此就需要托盘来装运这些电子元件。

当制造电子元件时，包括像是烘烤的高温工艺，托盘也会经过相同的环境。为了降低制造成本，一般而言，托盘在工艺期间会被重复使相当多次。然而，由于托盘不断地暴露在工艺中，就会导致托盘材料品质的问题，进而影响到承载在其中的电子元件的品质，这也限制了托盘可安全使用的次数。

这些品质的问题包括物理损害/变化，像是托盘的收缩、翘曲或是断裂，这是由于高温工艺所造成的热应力所引起。而这些托盘的物理损坏/变化，也会引起承载在其中的电子元件的损坏，像是封装的崩裂和/或导脚损坏，而造成损失。老旧托盘不断地在高温下暴露和/或使用，也会造成托盘材料的崩裂，除了造成电子元件的受损，同样也会造成生产效率的损失。

因此，在许多制造的阶段期间若是需要重复使用托盘，一般都需要花费大量的时间和成本，来清洁、检查和量测托盘的品质完整性。

另外，在电子元件，像是集成电路元件的工艺中，一般都包括了许多的制造设备并分散在各处的位置。而要实现一工艺追踪系统来追踪托盘在此分散排列的制造设备中的使用，是非常困难且昂贵的。

因此，以下的叙述提供一种托盘，可以使用在电子元件的工艺期间，以及该托盘的使用机台和方法，其允许托盘可以重复使用大量的次数，以解决托盘的检查相关的时间和成本，并且也可以解决托盘因过度使用而造成的损失问题。

发明内容

在此描述一种托盘，包括一固定架，其具有多个卡槽，可以在工艺期间固定如集成电路的多个电子元件。托盘还包括一装置，可以耦接至固定架，用以追踪托盘送入或送出工艺室，而这些工艺室是用来对放置在托盘上的电子元件进行特殊的工艺。在此也描述使用此托盘的机台和方法。

上述的装置例如是射频辨识(RFIC)装置，包括天线、电路、处理器和存储器。电路用以传送和接收信号。存储器则储存计数值，其用来指示固定架送入或送出工艺室的次数。另外，存储器也储存处理器可执行的多个指令(Instructions)，而这些指令包括：响应对于计数值的要求而传送含有计数值的信号，以及响应累加计数值的命令(Command)而累加储存在存储器中的计数值的指令。

在检测或量测程序中，无法找到一些由托盘材料老化所引起的问题。由将计数值储存在托盘的装置的存储器中，可以提供托盘使用的精确且便利的量测，以在这些工艺室的过程中用来判断何时需要停用托盘。

存在装置上的计数值，可以改善追踪托盘的使用的精确度和便利性。只要询问接合在托盘上的装置，就可以快速并且适切地判断是否决定将托盘使用在后续的工艺，因此本发明在大量控制检测上，或在多个分散配置的工艺设备中追踪托盘的使用上。

相较于储存大量数据文件来指示托盘的详细使用状况，储存计数值有很多优点。例如，以使用计数值来追踪托盘的使用，来代替必须读取和更新储存在装置或远程数据库中大笔的数据结构，只有相当小量的数据被储存、修改和传输。

在一些实施例中，装置上还可以储存托盘的制造日期。由于托盘不断地暴露所导致品质完整性的问题，会随着托盘材料的老化而更加恶化，因此在这些实施例中，制造日期也可以用来判断托盘何时需要停用。在一些实施例中，所使用的预设日期可由储存在装置上的计数值而决定，和/或所使用的预设使用数可由在装置上所储存的制造日期而决定。另外，预设使用数和预设日期可以彼此独立。

在此更描述一种制造机台，用于多个电子元件的工艺中，该工艺包括将托盘送入或送出工艺室。制造机台内包括读取器，读取储存在托盘的装置的存储器中的计数值，并判断该计数值是否大于预设使用数。制造机台还包括工艺室，对放置在托盘上的电子元件进行特殊工艺。制造机台还包括写入器，传送命令信号，以在托盘继续到后续机台之前，累加储存在装置的存储器中的计数值。