[发明专利]晶圆级透镜阵列及制造方法无效
申请号: | 201010166735.3 | 申请日: | 2010-04-23 |
公开(公告)号: | CN101887136A | 公开(公告)日: | 2010-11-17 |
发明(设计)人: | 山田大辅;中尾和广 | 申请(专利权)人: | 富士能株式会社;富士胶片株式会社 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆级 透镜 阵列 制造 方法 | ||
1.一种晶圆级透镜阵列,其中,
具备:
多个透镜部,按1维或2维排列;
基板部,将该透镜部相互连结;
肋条,被设置于该基板部并沿该基板部的表面延伸;
并且,上述透镜部、上述基板部及上述肋条由树脂材料一体形成。
2.如权利要求1所述的晶圆级透镜阵列,其特征在于,
将上述肋条设置多个,这些肋条构成相互平行按直线状延伸的第1组和相互平行按直线状延伸的第2组,
上述第1组所属的多个肋条和上述第2组所属的多个肋条相互交叉。
3.如权利要求1所述的晶圆级透镜阵列,其特征在于,
将上述肋条设置多个,这些肋条从上述基板部的中央部按放射状延伸。
4.如权利要求1所述的晶圆级透镜阵列,其特征在于,
上述肋条为圆环状。
5.如权利要求4所述的晶圆级透镜阵列,其特征在于,
将上述肋条设置多个,这些肋条被配置成同心。
6.如权利要求1所述的晶圆级透镜阵列,其特征在于,
上述肋条的侧面与上述基板部的表面所形成的角度是直角以上。
7.如权利要求1所述的晶圆级透镜阵列,其特征在于,
上述透镜部的至少一方的透镜面是凸曲面,
上述肋条被设置在配置有作为凸曲面的上述透镜面之侧的上述基板部的表面,且距该基板部的表面的高度比该透镜面低。
8.一种晶圆级透镜阵列的制造方法,其中,
该晶圆级透镜阵列具备:多个透镜部,按1维或2维排列;基板部,将该透镜部相互连结;肋条,被设置于该基板部并沿该基板部的表面延伸,并且上述透镜部、上述基板部及上述肋条由树脂材料一体形成,
该晶圆级透镜阵列的制造方法包括:
将具有与上述晶圆级透镜阵列相同的形状的母版进行形成;
将具有与上述母版的一方的表面整合的转印面的第1模、及具有与该母版的相反侧的表面整合的转印面的第2模进行形成;
在上述第1模的转印面与上述第2模的转印面之间使软化的上述树脂材料硬化。
9.如权利要求8所述的晶圆级透镜阵列的制造方法,其特征在于,
形成母版坯料,该母版坯料具有与上述晶圆级透镜阵列的除上述肋条以外的形状相同的形状,
通过将与上述肋条等效的肋条等效部件接合于上述母版坯料来形成上述母版。
10.如权利要求9所述的晶圆级透镜阵列的制造方法,其特征在于,
将上述肋条等效部件与上述母版坯料按可接离的方式进行接合。
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