[发明专利]一种具有高启动电压的磁控溅射脉冲电源

权利要求书

1.一种具有高启动电压的磁控溅射脉冲电源，其特征在于，

包括依次连接的DC输入(1)、高压启动模块(2)、脉冲发生模块(3)和续流模块(4)，续流模块(4)与磁控溅射装置中的基片(6)和靶材(7)连接，高压启动模块(2)还与异常检测模块(5)连接，异常检测模块(5)与设置在基片(6)和靶材(7)之间的磁控溅射的等离子体(8)连接，

高压启动模块(2)用于产生磁控溅射启动时所需的脉冲高压；脉冲发生模块(3)用于产生脉冲偏压；续流模块(4)用于将高压脉冲施加到磁控溅射装置中的基片(6)和靶材(7)上；异常检测模块(5)用于检测该等离子体(8)负载电流的变化，控制二次高压启动，

所述的高压启动模块(2)的电路是：储能电感L_s和升压开关管Q串联连接，储能电感L_s与DC输入(1)连接，电容C₁并联在升压开关管Q上，滤波电容C₂和假负载R并联后与二极管D串联连接，滤波电容C₂和假负载R及二极管D构成的电路与升压开关管Q并联连接；

所述的脉冲发生模块(3)的电路是：开关管Q₁和开关管Q₂串联连接，开关管Q₃和开关管Q₄串联连接，开关管Q₁和Q₃的输入端与二极管D连接，开关管Q₂和Q₄的输出端与DC输入(1)连接；

所述的续流模块(4)的电路是：包括并联的电感L₁和L₂，在电感L₁上反向并联有续流二极管D₁，在电感L₂上反向并联有续流二极管D₂，

脉冲发生模块(3)中的开关管Q₁的输出端通过电感L₁与基片(6)连接，脉冲发生模块(3)中的开关管Q₃的输出端通过电感L₂与靶材(7)连接；

异常检测模块(5)的电路是：包括电流传感器和异常信号产生单元，电流传感器设置于等离子体(8)中，并通过异常信号产生单元与高压启动模块(2)连接；

异常检测模块(5)的控制过程是：当电流传感器检测到等离子体(8)的负载电流异常时，异常信号产生单元产生一个异常信号用来封锁脉冲发生模块(3)；此后，电流传感器将对离子体(8)的负载电流进行定期检测，直到电流传感器检测等离子体(8)的负载电流正常后，再由异常信号产生单元发出一个重新启动信号给高压启动模块(2)，对脉冲电源二次高压启动。