[发明专利]一种柔性紫外-可见光掩模的制备方法

权利要求书

1.一种柔性紫外-可见光掩模的制备方法，通过受限光催化氧化反应对透明柔性的聚合物薄膜或片材表面进行亲水性改性得到表面水接触角为40±5°的亲水聚合物表面；通过溶胶-凝胶法在该表面得到无机涂层表面水接触角为110±5°，厚度为400-1000nm的全透明柔性有机/无机杂化膜为打印基材；再通过喷墨打印机在该基材表面直接打印，得到通过计算机设计的任意微米级表面图案。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述聚合物薄膜或片材材料为：双向拉伸聚丙烯、流延聚丙烯、低密度聚乙烯、高密度聚乙烯或聚对苯二甲酸乙二醇酯。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述聚合物薄膜或片材的厚度在20-100μm之间。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：聚合物薄膜或片材表面亲水性改性方法：过硫酸氨水溶液被夹在二片薄膜或片材之间，用高压汞灯辐照装置辐照2分钟，功率为1000w，λ＝254nm处的光强为9500μw/m²。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，有机/无机杂化膜制备方法：在常温下，将正硅酸乙酯、去离子水、盐酸和乙醇配成混合溶液，搅拌搅拌0.5h，再加入聚乙二醇400，继续搅拌0.5h，再加入3-(2，3-环氧丙氧)丙基三甲氧基硅烷，继续搅拌3-5h的混合液，然后在凝胶机作用下将上述混合液旋涂于亲水改性的聚合物表面，将旋涂过的聚合物置于真空烘箱内，在10分钟时间内升温到110℃，并且恒温12-24h；超声清洗以除去未反应的小分子及其它污染物，干燥。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：通过颜料型喷墨打印机将所设计微图案直接打印在打印基材表面，所述表面图案是厚度在500nm-2μm，光吸收带在500nm以下的颜料型墨水层。