[发明专利]除电装置

说明书

技术领域

本发明涉及除电装置，尤其涉及对带电物体照射正负的离子以便在电性上成为中性的除电装置。

背景技术

在半导体或移动电话等的生产线中，为了防止部件带电引起的静电故障，在工作台或输送带等的附近设置除电装置。该种除电装置通过对带点物体照射正负平衡的空气离子，使该物体在电性上成为中性，但是当放电针被污染或腐蚀时，正离子或负离子过剩，相反会存在使除电对象物带电的问题。

关于这一点，作为关联技术，已知有以下一种离子生成装置，其在与放电针相邻设置的相向电极和接地之间设置由可变电阻和二极管构成的并联电路，通过人工调整该可变电阻，可以调整离开相向电极的正负离子的平衡(专利文献1)。

【专利文献1】特开平8-255669号公报

但是，离子平衡偏离的原因不仅是放电针的污染或腐蚀。即使放电针没有被污染或腐蚀，例如在混入了低VOC气体的干扰氛围下使用除电装置时，已查明有时会产生过多的正离子，离子平衡崩溃。在此，VOC(Volatile organiccompounds)是指在常温常压下在大气中容易挥发的有机化合物的总称，包含甲苯、苯、二氯甲烷等在工厂等处经常使用的清洗剂或溶剂等。因此，通过人工调整离子平衡的上述关联技术的方式，无法针对这样的放电氛围的变动自动地进行应对。

发明内容

本发明是鉴于上述关联技术的课题而做出的，其目的在于：提供即使放电氛围变动，也可以通过简单的结构自动地保持均等的离子平衡的除电装置。

为了达成上述目的，本发明的一方面提供一种除电装置，其具备：放电电极，其具有对应对自身施加的直流高电压的极性，生成正或负的离子的按n个为一组被分为两组的2n个放电针，其中n为自然数；高电压产生电路，其在每个一定期间使极性反转地对所述各组的放电针，施加相互逆极性的直流高电压；以及相向电极，其遮挡放出由所述放电电极产生的所述离子的所述放电电极的前方空间，所述高电压产生电路的两个高电压输出端子分别与所述各组的放电针连接，所述两个高压侧输出端子的高压侧公共端子在非接地的状态下与所述相向电极连接。

根据上述方面，高电压产生电路的高压侧公共端子在非接地的状态下与相向电极连接，所以相向电极的电位对应放电氛围的变动适当地变化。即，在不包含另外的气体的通常氛围下使用本装置时，通过在放电空间中产生正负等量的离子，将相向电极的电位保持为0V。此时，离开相向电极的离子也取得正负平衡，可以高效能地对除电对象物进行除电。

另一方面，例如在由于混入了特定的气体在放电空间中产生了较多的正离子时，在该放电空间中净(平均)的正电荷增加，通过该正电荷，相向电极的电位被感应至负侧。由于该负电位，在更多的正离子被相向电极捕捉的同时，因为负离子相斥，更多的通过相向电极。结果，抑制离开相向电极的正离子的增加，并且，负离子的通过增加，如此大体均等地保持了离开相向电极的正离子和负离子的平衡。

相反，在由于混入了特定的气体在放电空间中产生了较多的负离子时，在该放电空间中净(平均)的负电荷增加，通过该负电荷将相向电极的电位被感应至正侧。由于该正电位，在更多的负离子被相向电极捕捉的同时，因为正离子相斥，更多的通过相向电极。结果，抑制离开相向电极的负离子的增加，并且，正离子的通过增加，如此大体均等地保持了离开相向电极的正离子和负离子的平衡。

如此，根据上述的一方面，即使在各种放电氛围下，使用该除电装置，因为通过简单的结构自动地保持均等的离子平衡，所以可以始终促进除电对象物中的电位的中和，可以减小除电对象物表面的残留电位。

此外，所述除电装置还可以具备：串联接在所述高电压生成电路的高压侧公共端子和接地之间的第一电容器以及第二电容器；以及检测所述第二电容器的端子电压的高电压异常检测电路。

根据所述结构，高电压异常检测电路通过检测第二电容器的端子电压来检测高压电路的异常。此时，在正常地进行了高电压电路的放电时，因为在放电空间中同时施加正极性和负极性的高电压，所以相向电极(即，高电压侧公共端子)的电位保持大体恒定(例如0V)。但是，在某一组的放电针由于绝缘不良而接地时，因为放电空间仅由另一组的放电针驱动，所以在相向电极(即，第二电容器的端子之间)出现比较显著的振幅的交变电压。在本发明中，通过监视第二电容器的端子电压，可以确切地检测高压电路。此外，在本发明中，观测第二电容器的端子电压(即，连接监视电路)，为了将高压侧公共端子维持在浮动状态，串联连接了第一电容器。