[发明专利]高速多级透平真空泵及其抽真空方法

权利要求书

1.高速多级透平真空泵，其特征在于包括机壳（16）及配合连接的驱动电机（1）、齿轮增速箱（3），齿轮增速箱（3）采用单级增速，其输入端与驱动电机（1）传动连接，输出端与主轴（4）前端传动连接，主轴（4）通过安装于机壳（16）两端的前轴承座（5）、后轴承座（5a）内的径向滑动轴承（14a、14）支承悬架于机壳（16）内，机壳（16）内的主轴（4）上按一定间距同向串接设置一组离心叶轮（7），末级离心叶轮（7）外侧配合设置平衡盘（8），各级离心叶轮（7）与机壳（16）之间分别构成单个工作室，各工作室之间通过流道逐个连通，机壳（16）上相应设置一组分别与各工作室连通的吸入口（6）和一个与最尾端的工作室连通的排出口（9），平衡盘（8）与机壳（16）之间构成平衡腔，机壳（16）上配合设置将平衡腔与各吸入口（6）连通的平衡管（10）；所述的离心叶轮（7）为吸入端向前延伸和自由曲面的闭式结构；所述的一组离心叶轮（7）除末级的离心叶轮（7）外，分别在外侧配合设置隔板（18）、隔板密封器（19）；所述的一组离心叶轮（7）的进口处分别配合设置轮盖密封器（17）；所述隔板密封器（19）和轮盖密封器（17）分别采用迷宫式结构；相邻离心叶轮（7）之间的主轴（4）上套接设置定距套（20）；某个吸入口（6）能够被封闭。

2.如权利要求1所述的高速多级透平真空泵，其特征在于所述的机壳（16）采用水平中分结构，由上、下机壳（16a、16b）配合构成，上、下机壳（16a、16b）固定连接后通过两端设置的轴端密封器（11a、11）与主轴（4）密封配合，所述的吸入口（6）均配合设置在下机壳（16b）上，下机壳（16b）两端分别设置前轴承座（5）、后轴承座（5a），通过安装在前轴承座（5）、后轴承座（5a）内的径向滑动轴承（14a、14）、油封（15a、15）将主轴（4）支承悬架并密封转动配合。

3.如权利要求1所述的高速多级透平真空泵，其特征在于所述主轴（4）的尾端配合设置止推轴承（13）和止推盘（12），止推轴承（13）和止推盘（12）安装在后轴承座（5a）内。

4.如权利要求1所述的高速多级透平真空泵，其特征在于所述的按一定间距同向串接设置在主轴（4）的离心叶轮（7）为2～5级，分别与主轴（4）过盈套装配合，机壳（16）上设置的吸入口（6）的数量与所套装的离心叶轮（7）的数量一致。

5.如权利要求1所述的高速多级透平真空泵，其特征在于所述的离心叶轮（7）采用铣制或焊接结构。