[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、液晶显示用隔片或保护膜及其形成方法有效
申请号: | 201010167754.8 | 申请日: | 2010-04-22 |
公开(公告)号: | CN101872123A | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 中川刚志;佐野有香;坂井孝广 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G02F1/1339 |
代理公司: | 北京三幸商标专利事务所 11216 | 代理人: | 刘激扬 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放射线 敏感性 树脂 组合 液晶显示 用隔片 保护膜 及其 形成 方法 | ||
技术领域
本发明涉及放射线敏感性树脂组合物、液晶显示元件的隔片或保护膜及其形成方法。
背景技术
在液晶显示元件中,为了使二块基板间的间隔(盒间隙)保持一定,目前使用具有规定粒径的玻璃珠、塑料珠等隔片粒子。这些隔片粒子随机散布在玻璃基板等透明基板上,所以如果在形成像素区域存在隔片粒子,则具有产生映出隔片粒子的现象,入射光散射,液晶面板的对比度降低这样的问题。因此,为了解决这些问题,采用的是通过使用放射线敏感性树脂组合物的光刻法,在像素区域以外的区域形成隔片的方法(专利文献1)。
液晶显示元件具有在基板上形成的滤色片上配置隔片,然后在其上配置具有对向电极的对向基板,在盒间隙配置液晶分子的结构。因此,为了在基板的全部区域保持盒间隙固定,隔片必须要有高度的膜厚均匀性。特别是,在近年的液晶显示元件中,由于目前对画质的高精度化和对高速动画的随动性(高速相应性)要求也增加,所以对膜厚均匀性的要求也越来越高。
此外,在制造液晶显示元件时,从提高生产性、适应大型画面的观点出发,需要使玻璃基板的尺寸大型化。玻璃基板的尺寸经过300mm×400mm的第一代、370mm×470mm的第二代、620mm×750mm的第三代、960mm×1,100mm的第四代,1,100mm×1,300mm的第五代正成为主流。此外,今后更需要1,500mm×1,850mm的第六代、1,850mm×2,100mm的第七代、2,200mm×2,600mm的第八代这样的大型的基板尺寸。
在基板尺寸型号小,例如为370mm×470mm以下时,通过旋涂法涂敷,但是在该方法中,必须涂敷大量的放射线敏感性树脂组合物溶液,而且还无法适应对大型基板的涂敷。另外,在基板尺寸为960mm×1,100mm以下时,通过狭缝和旋涂法涂敷,但是难以适应第五代以后的基板尺寸。
适应第五代以后的基板尺寸的涂敷方式适合使用从狭缝状喷嘴喷出组合物进行涂敷的所谓的狭缝涂敷法(专利文献2和3)。该狭缝涂敷法和旋转涂敷法相比,具有可以降低涂敷所要求的组合物的量的优点,有助于削减液晶显示元件的制造成本。然而,该狭缝涂敷法具有如下问题:将基板真空吸附,进而在通过微小的销支撑基板的几点的状态下,从一定方向扫过涂敷喷嘴,形成涂膜,所以在涂膜中产生真空吸附的孔引起的称作“台式真空吸附斑”的斑点、支撑销引起的称作“支撑销斑”的斑点、在涂敷喷嘴扫过的方向出现的条状的称作“竖条斑”的斑点等,成为实现上述高度平坦型的阻碍。
此外,从进一步削减液晶显示元件的制造成本的观点出发,强烈要求减少涂敷要用的组合物的液体量(节约液体)。
【现有技术文献】
【专利文献】
【专利文献1】日本特开2001-261761号公报
【专利文献2】日本特开2006-184841号公报
【专利文献3】日本特开2001-25645号公报
发明内容
本发明是基于上述问题提出的,其目的在于即使采用狭缝涂敷法作为涂敷方法时,也不会在涂膜上产生微小凹凸形成的斑点,狭缝涂敷时可以高速涂敷,可以节约放射线敏感性树脂组合物的溶液。
此外,还提供能以高灵敏度形成液晶显示元件的隔片或保护膜的放射线敏感性树脂组合物,作为液晶显示元件的隔片或保护膜,可以保持目前要求的耐摩擦性,同时兼具高回复率和柔韧性的压缩性能,特别是具有高度的膜厚均匀性的液晶显示元件的隔片或保护膜及其形成方法。
根据本发明,本发明的上述目的和优点,第一是一种放射线敏感性树脂组合物,其特征在于,包含:
(A)100质量份碱可溶性树脂,该碱可溶性树脂是5~60质量%(a1)和40~95质量%(a2)的共聚物,其中(a1)是选自一元羧酸、二元羧酸和二元羧酸酐的化合物,(a2)是选自(甲基)丙烯酸的羟基烷基酯、(甲基)丙烯酸的二羟基烷基酯或(甲基)丙烯酸的(6-羟基己酰氧基)烷基酯、具有环氧基的不饱和化合物、(甲基)丙烯酸环烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、(甲基)丙烯酸芳烷基酯、不饱和二元羧酸二烷基酯、具有含氧5元杂环或含氧6元杂环的(甲基)丙烯酸酯、乙烯基芳香族化合物和共轭二烯化合物的至少1种化合物;
(B)30~250质量份聚合性不饱和化合物;
(C)1~60质量份放射线敏感性聚合引发剂;以及
(D)下式(1)所示的R1和R2是碳原子数为4或5的直链状或支链状的烷基的溶剂,该溶剂相对于放射线敏感性树脂组合物中的全部溶剂的量为5质量%~90质量%。
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