[发明专利]反射型微显示成像器及其制造方法

权利要求书

1.一种反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于，包括：

在第一薄透明盘片的底面上，或在第二薄透明盘片的顶面上制作滤色镜阵列，入射光从所述第一薄透明盘片侧射入，所述滤色镜阵列包括阵列形式平铺排列的多个滤色像素，每个滤色像素由多个微光学带通过滤元件组成，其中，微光学带通过滤元件为可视光学频谱提供可选波长频带的选择性过滤；

将所述第二薄透明盘片的顶面与所述第一薄透明盘片的底面粘贴，以将滤色镜阵列夹持在所述第一薄透明盘片和第二薄透明盘片之间；

将所述第二薄透明盘片粘贴在反射型空间调制阵列上，所述反射型空间调制阵列构筑在硅基板上，用于调制和反射穿过滤色镜阵列射入的入射光，所述反射型空间调制阵列包括阵列形式平铺排列的调制像素，每个调制像素由多个子调制元件组成，所述子调制元件的数量与微光学带通过滤元件的数量相等，且分别与各微光学带通过滤元件沿着入射光线的入射方向对齐。

2.根据权利要求1所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于：所述第一薄透明盘片和第二薄透明盘片由二氧化硅制成。

3.根据权利要求1所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于：所述滤色镜阵列由滤色有机材料制成。

4.根据权利要求1所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于，还包括：

在所述第一薄透明盘片的底面、所述滤色镜阵列或所述第二薄透明盘片的顶面上形成微透镜阵列，所述微透镜阵列包括阵列形式平铺排列的微透镜像素，所述微透镜像素的数量与滤色像素的数量相等且分别与各滤色像素沿着入射光的入射方向对齐，其中，每个微透镜像素由多个微透镜元件组成，所述微透镜元件的数量等于相应的微光学带通过滤元件且与相应的微光学带通过滤元件沿着入射光的入射方向对齐。

5.根据权利要求1所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于，将所述第二薄透明盘片粘贴在反射型空间调制阵列上包括：

将所述反射型空间调制阵列的连续型薄导电透明膜层沉积在第二薄透明盘片的底部；

在所述反射型空间调制阵列的连续型薄导电透明膜层上形成连续型顶部取向膜层。

6.根据权利要求5所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于：所述薄导电透明膜层由铟锡氧化物或导电透明聚合体制成；所述顶部取向膜层由聚酰亚胺、二氧化硅、聚合体材料和氧化硅中的任意一个所制成。

7.根据权利要求1所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于：每个滤色像素包括至少一个红色带通滤色镜、一个绿色带通滤色镜和一个蓝色带通滤色镜。

8.根据权利要求1所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于：每个滤色像素包括至少三个过滤光谱比红色、绿色和蓝色光谱更宽的带通滤色镜。

9.根据权利要求1所述的反射型微显示成像器的制造方法，其特征在于：每个滤色像素包括至少一个蓝绿色带通过滤器、一个黄色带通过滤器、一个绿色带通过滤器和一个红紫色带通滤色镜。

10.一种反射型微显示成像器，其特征在于，包括：

第一薄透明盘片和第二薄透明盘片，入射光从所述第一薄透明盘片侧射入；

滤色镜阵列，设置在所述第一薄透明盘片和第二薄透明盘片之间，所述滤色镜阵列包括阵列形式平铺排列的多个滤色像素，每个滤色像素由多个微光学带通过滤元件组成，其中，微光学带通过滤元件为可视光学频谱提供可选波长频带的选择性过滤；

反射型空间调制阵列，设置在所述第二薄透明盘片的一侧，所述反射型空间调制阵列构筑在硅基板上，用于调制和反射穿过滤色镜阵列射入的入射光，所述反射型空间调制阵列包括阵列形式平铺排列的调制像素，每个调制像素由多个子调制元件组成，所述子调制元件的数量与微光学带通过滤元件的数量相等，且分别与各微光学带通过滤元件沿着入射光的入射方向对齐。