[发明专利]磁光电流传感器及其制造方法

权利要求书

1.磁光电流传感器，其特征在于：采用模块化的器件结构，包括沿光路 方向依次排列设置的光纤输入模块、光纤输入矫正模块、磁光晶体模块、光纤 输出模块及光纤输出矫正模块，其中所述磁光晶体模块包括石榴石及其上沿光 路方向依次生长形成的缓冲层、永磁薄膜及保护层，所述光纤输入矫正模块包 括相串联的光纤准直器、保偏输入光纤及光强探测器，所述光纤输出矫正模块 包括相串联的光纤准直器、保偏输出光纤及光强探测器；所述光纤输入矫正模 块与光纤输入模块的偏振分束器相关联，并与光纤输入模块一并输出至磁光晶 体模块，所述磁光晶体模块的输出相连到光纤输出模块的偏振分束器，且所述 光纤输出矫正模块与所述光纤输出模块的偏振分束器相关联。

2.根据权利要求1所述的磁光电流传感器，其特征在于：所述磁光晶体 模块的缓冲层的薄膜厚度为5nm～100μm；永磁薄膜的厚度为10nm～1cm，至 少包括钕铁硼，钐钴，铝镍钴中的一种或一种以上；所述保护层的厚度为 1nm～10μm，至少包括SiO₂，SiN，Cr，Ta中的一种或一种以上。

3.根据权利要求1所述的磁光电流传感器，其特征在于：所述光纤输入 模块用于提供偏振光源，包括保偏输入光纤、输入光纤准直器、偏振分束器。

4.根据权利要求1所述的磁光电流传感器，其特征在于：所述光纤输出 模块用于提供探测及分析用输出光，包括偏振分束器、输出光纤准直器、保偏 输出光纤及光强探测器。

5.权利要求1所述的磁光电流传感器的制造方法，沿光路定位设置各模 块化构件，其特征在于：所述模块化构件中的磁光晶体模块的制备方法包括步 骤：I、采用超声波清洗并烘干石榴石，将掩膜板压贴于石榴石表面；II、将 石榴石放入薄膜生长系统中，真空环境下在石榴石表面依次生长缓冲层及永磁 薄膜；III、对生长产物升温至550℃～800℃进行二次退火；Ⅳ、室温下生长保 护层，并对永磁薄膜磁化充磁，得到磁光晶体模块。

6.根据权利要求5所述的磁光电流传感器的制造方法，其特征在于：所 述步骤II中薄膜生长的方法至少包括磁控溅射法、电子束蒸发法或脉冲激光沉 积法。