[发明专利]精馏与吸附组合提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术

说明书

所属技术领域

本发明涉及一种烷类化工产品-高纯乙硼烷制备方法的工艺技术，特别是一种精馏与吸附组合提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术，适合于化工合成乙硼烷。

背景技术

目前，目前，微电子技术是现代信息技术和军事技术的主要基石，是推动科技进步、产业发展、经济腾飞和社会前进的关键因素之一。集成电路是微电子技术的核心，其发展水平和产业规模已成为衡量一个国家经济实力的重要标志。电子特种气体(如乙硼烷)，尤其是高纯电子气体作为电子化工材料这一新门类，是制约集成电路可靠性和成品率的重要因素。随着电子信息技术的飞速发展，集成度越来越高，对基础原材料(如乙硼烷)的纯度要求已经提高到了5N级(99.999％)，甚至7N以上，因此制备高纯电子特种气体技术更显得迫在眉睫。乙硼烷的制备技术尚未完善，制作方法工艺复杂，较难掌握，生产的产品尚不能全面满足相关电子产品的需要，质量差，问题多，只能用于制造低规格的产品，因此，给用户带来了较大的麻烦，这种状况严重地制约了电子技术的发展。

发明内容

本发明所要解决的问题在于，克服现有技术的不足，提供了一种精馏与吸附组合提纯方式制备高纯乙硼烷方法的工艺技术。该技术不仅工艺合理，制备简单，而且产品质量好，生产的乙硼烷纯度高达5N(99.999％)以上，并解决了环境污染问题。

本发明采用的技术方案是：原料气进口管、外装再沸器加热套的再沸器、外装填料塔冷却套的填料塔、冷凝器、低沸点杂质排放管、液态产品(高纯B₂H₆)取出管、产品接收槽、高沸点杂质排放管、阀门按其系统功能通过连接管线组装一体而构成。

本发明的有益效果是，设计合理，使用方便，是理想的乙硼烷制备工艺技术。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1为本发明的结构示意图。

附图编号为：1、原料气进口管，2、再沸器，3、填料塔，4、冷凝器，5、低沸点杂质排放管，6、液态产品(高纯B₂H₆)取出管，7、产品接收槽，8、高沸点杂质排放管，9、填料塔冷却套，10、再沸器加热套，11、阀门，12、连接管线。

具体实施方式

参照图1，原料气进口管(1)、外装再沸器加热套(10)的再沸器(2)、外装填料塔冷却套(9)的填料塔(3)、冷凝器(4)、低沸点杂质排放管(5)、液态产品(高纯B₂H₆)取出管(6)、产品接收槽(7)、高沸点杂质排放管(8)、阀门(11)按其系统功能通过连接管线(12)组装一体而构成。

本发明采用有充填剂低温吸附精馏分离提纯制取高纯乙硼烷的工艺方法。

(1)原料来源及组成