[发明专利]一种硅基合金旋转靶材及其制备方法无效
| 申请号： | 201010170534.0 | 申请日： | 2010-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN101921988A | 公开（公告）日： | 2010-12-22 |
| 发明（设计）人： | 周其刚;黄德燕;马敬山 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D18/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 旋转 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅基合金旋转靶材，其特征在于以真空熔炼技术制备硅基合金旋转靶材。
2.一种硅基合金旋转靶材，其特征在于制备硅基合金旋转靶材运用铸造成型技术。
3.一种硅基合金旋转靶材，其特征在于硅基合金旋转靶材与衬管间的焊接技术。
4.一种硅基合金旋转靶材，其特征在于包括焊接和不锈钢管上的支撑的管状部分。
5.一种硅基合金旋转靶材，其特征在于包含一个铸造用空心石墨模具的设计。
6.一种硅基合金旋转靶材，其特征在于石墨空心模具的内径尺寸范围在150毫米至158毫米，外径尺寸范围在170毫米至176毫米。
7.一种硅基合金旋转靶材，其特征在于熔液漏斗为圆盘设计，圆盘中有沟槽，槽底有两个大小一样的孔，使合金熔液均匀浇铸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州市尤特新材料有限公司，未经广州市尤特新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201010170534.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
