[发明专利]磁电式磁场传感器及其制作方法

权利要求书

1.磁电式磁场传感器，其特征是，包括若干由沿厚度方向极化压电材料制成的压电元件，压电元件为平行四边形，第二、第四、第六……平行四边形压电元件翻转180°后，相邻的两个平行四边形的长边用导电胶粘贴在一起，形成压电堆；若干平行四边形的对角线上的两个角的顶点分别和铜膜连接，使压电元件形成并联结构；所述压电堆的正面和反面均粘贴一个在压电堆左端和右端之间延伸的一维磁伸材料细棒，在一维磁伸材料细棒的一端粘贴有NdFeB永磁材料。

2.根据权利要求1所述的磁电式磁场传感器，其特征是，所述相邻的两个平行四边形的长边镀银形成导电胶粘贴面。

3.根据权利要求1所述的磁电式磁场传感器，其特征是，所述压电元件平行四边形长边长为2.5mm，所述压电堆长度为10mm，所述一维磁伸材料细棒5长10mm宽度1mm，厚1mm。

4.磁电式磁场传感器制作方法，其特征是，该方法包括下列步骤：利用沿厚度方向极化压电材料，将其制成平行四边形结构的压电元件；

1)将上述平行四边形中第二、第四、第六……平行四边形压电元件翻转180°后，相邻的两个平行四边形的长边用导电胶两两粘贴，制成压电堆；

2)若干压电元件的两个端点分别用两个铜膜连接起来，形成并联结构；

3)用Terfenol-D材料制成一维磁伸材料细棒，对磁伸棒表面进行抛光，使其表面光滑平整；

4)在压电堆的正反两面上各粘贴一个一维磁伸材料细棒，一维磁伸材料细棒贯穿压电堆左端和右端；

5)将具有极高磁能极的NdFeB永磁材料粘贴于一维磁伸材料细棒的一端，制作完成该传感器的传感头。

5.根据权利要求1所述的磁电式磁场传感器制作方法，其特征是，所述步骤2)中相邻的两个平行四边形的长边镀银后再用导电胶粘贴。