[发明专利]HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃全息光栅在审
| 申请号： | 201010171073.9 | 申请日： | 2010-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN102243327A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 谢永军 | 申请（专利权）人： | 西安格瑞微纳光电技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710077 陕西省西安市高新区锦*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | hfo sub sio 溶胶 凝胶 玻璃 全息 光栅 | ||
1.一种具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃制作衍射光栅方法，其实现步骤包括：
(I)合成具有光敏性HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃溶胶；
(II)制作HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃全息光栅。
2.根据权利要求1所述的具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃制作衍射光栅方法，其特征在于：以异丁氧基铪为前驱体，少量正丁醇为溶剂，甲基丙烯酸为络合剂，加入比例为异丁氧基铪∶甲基丙烯酸＝1∶1，混合搅拌3h；甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷溶解在一定量正丁醇中，加入一定浓度盐酸溶液作催化剂，混合搅拌1h，使甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷完全水解；所述两种溶液混合，搅拌24h，溶液变成具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶玻璃溶胶。
3.根据权利要求1所述的具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃制作衍射光栅方法，其特征在于：所述具有光敏性的HfO2/SiO2溶胶玻璃溶胶经0.2um过滤器过滤，采用旋转涂胶法以3000r/min的旋转速度将所述溶胶旋涂在硅基片上，旋涂时间为30s。所述基片放在100℃热板上前烘15min，去除膜层中的溶剂。以光刻掩模或平面波干涉场作为曝光光源，曝光波长为X射线到紫外波段，曝光量为50mJ/cm2左右，曝光时间约为5min。
4.根据权利要求1和权力要求2所述的HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃制作衍射光栅方法，其特征在于：含Hf金属氧化物的添加提高了所述HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃抗辐射损伤阀值。
5.根据权利要求1和权力要求2所述的HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃制作衍射光栅方法，其特征在于：通过改变所述HfO2/SiO2溶胶凝胶玻璃中含Hf金属氧化物的添加量调节出较高的折射率，且在较宽的波长范围内透射性较好。
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