[发明专利]循环蒸镀装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蒸镀装置，尤其涉及一种可对蒸镀材料及时供给并循环输入，且能进行连续蒸镀的循环蒸镀装置。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode，即有机发光二极管)，其最基本的结构包括阴极、阳极及发光层，发光层形成于阴极与阳极之间，在阴极与阳极之间加适当电压后，阴极向发光层注入电子，阳极向发光层注入空穴，当电子和空穴达较高的注入密度时，会在发光层中结合形成大量的激子(即空穴-电子对)，激子由激发状态回落在基础状态时产生辐射进而发光；为提高有机发光器件的发光效率，必须通过发光层顺畅地输送空穴和电子，为此在阴极和发光层之间依次形成电子注入层和电子输送层，在发光层与阳极之间依次形成空穴传输层和空穴注入层，其生产工艺一般为在玻璃基板上形成一透明阳极，在阳极上依次沉积空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层，最后是金属阴极；而在基板上形成薄膜的方法主要有真空蒸镀法、镀离子法及溅射法等物理蒸镀法，还有利用气体反应的化学气相沉积法等，其中，在有机发光器件的薄膜主要利用真空蒸镀法形成。

用于真空蒸镀法的蒸镀装置一般包括真空腔体、抽真空系统及动力传输系统，真空腔体用于执行蒸镀工艺，该真空腔体与抽真空系统连通，待蒸镀的基板通过动力传输系统传输到真空腔体内，在真空腔体内设置有蒸发舟，蒸发舟与外界电源连接，当适当的电流流通到蒸发舟后，蒸发舟因电阻效应产生热量，加热蒸发舟内的蒸镀材料，蒸镀材料到达熔点后产生蒸气，气化后的蒸镀材料沉积在待蒸镀的基板上行形成薄膜层。然而，现有的蒸镀装置需要更换、添加蒸镀材料，或需要清洁维护蒸发舟时，需要停止蒸镀工艺，开启真空腔体后进行更换和维护，不便于蒸镀材料的及时添加，也使操作不够灵活，待更换完蒸镀材料或维护完蒸发舟后再继续蒸镀工艺，使得蒸镀工艺不能连续进行，降低蒸镀效率。

因此，急需一种结构简单、方便蒸镀材料及时供给及循环添加、并能进行连续蒸镀的蒸镀装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构简单、方便蒸镀材料及时供给及循环添加、并能进行连续蒸镀的循环蒸镀装置。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种循环蒸镀装置，包括主腔体及至少两组活动蒸发舟单元，所述主腔体与抽真空系统连通，所述活动蒸发舟单元密封地枢接于所述主腔体上，其中，所述活动蒸发舟单元包括驱动机构、长轴、蒸发舟及呈中空结构的副腔体，所述副腔体与所述主腔体连接，所述长轴贯穿地枢接于所述副腔体上，所述长轴的一端与所述驱动机构连接，所述长轴的另一端与所述蒸发舟连接，所述蒸发舟伸入所述主腔体内并与所述主腔体密封地枢接，所述驱动机构通过所述长轴带动所述蒸发舟运动。

较佳地，所述主腔体上相对于所活动蒸发舟单元的位置处开设有蒸镀通道，所述活动蒸发舟单元的蒸发舟穿过所述蒸镀通道并伸入所述主腔体内，所述长轴位于所述主腔体外；更具体地，所述副腔体上对应所述蒸镀通道的位置处设置有蒸发舟通道，所述蒸发舟通过所述蒸发舟通道进出所述副腔体。蒸镀过程中需要更换蒸镀材料或需要对蒸发舟进行维护时，驱动机构通过长轴拉动蒸发舟，蒸发舟通过蒸发舟通道被拉入副腔体内，在副腔体内进行蒸镀材料的更换或添加，蒸发舟的清洁或维护等，不需要打开主腔体即可方便的进行蒸镀材料的供给或蒸发舟的维护，操作简单灵活。

较佳地，所述主腔体的蒸镀通道处均设置有真空阀门；更具体地，所述真空阀门为闸板阀。闸板阀具有结构简单、开闭省力、操作精确等优点，使用闸板阀控制蒸镀通道的启闭，操作简单并能很好的保持主腔体内的真空度。

较佳地，所述抽真空系统包括第一抽真空系统及第二抽真空系统，所述第一抽真空系统与所述主腔体连通，所述第二抽真空系统与所述副腔体连通。蒸发舟在副腔体内添加蒸镀材料或维护的过程中，或完成上述过程后，第二抽真空系统对副腔体进行抽真空，以产生与主腔体相适应的真空度，当副腔体内的真空度与主腔体内的真空度相适应时，将蒸发舟送入主腔体内进行蒸镀工艺，这样减少蒸镀前的等待时间，提高蒸镀效率，同时使主腔体内的环境一直维持在蒸镀条件下，进而保证较高的蒸镀质量。