[发明专利]真空磁力传动机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种传动机构，尤其涉及一种真空磁力传动机构。

背景技术

机械传动机构可以将动力所提供的运动的方式、方向或速度加以改变，被人们有目的地加以利用。常见的传动机构，主要有齿轮传动、皮带传动和液压式传动，均需要主动部件和被动部件相互接触才可以实现机械运动的传递，因此，在许多主动部分和被动部分需要进行封闭隔离而又必须有效传递机械运动时，利用这些传统传动机构，是很难实现的。例如，随着真空技术的发展，玻璃基材等薄板已广泛用于制造LCD-TFT显示屏、有机发光显示器件(OLED)面板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者。于此类应用中大多在洁净玻璃上镀覆薄膜晶体管，这类大型玻璃基材的制程通常包含实施多个连续步骤，包括如化学气相沉积制程(CVD)、物理气相沉积制程(PVD)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程，该制程的工艺要求比较严格，大部分必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行，通过传动机构实现腔体内外动力的传递，此过程中如果密封不好、真空环境不足将严重影响辉光放电的程度，同时空气中的氧气和水汽也会将靶材侵蚀，导致磁控溅射制程中断或/和沉积薄膜受到影响。在真空传动机构中，动力源一般由外部传到内部这样首先就要解决的是传动系统与真空室间的密封，现有技术中，对真空腔的动力传动大都采用机械式传动，不容易实现密封，传动效率低且容易破坏真空环境，且对于元部件的要求较高，另一方面存在不稳定性，多次重复的接触动作容易导致传动器件的磨损从而影响传动效果和密封要求。

因此，急需一种传动效率高，传动平稳，容易控制，成本低且实用性及通用性强的真空磁力传动机构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种传动效率高，传动平稳，容易控制，成本低且实用性及通用性强的真空磁力传动机构。

为了实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种真空磁力传动机构，包括安装板、外轴套、隔套、内轴套、传动轴、若干外磁体及若干内磁体，所述安装板呈竖直置放，所述外轴套位于所述安装板的一侧并在与所述安装板相对的一端的端面上开设有圆槽，所述圆槽内开设有轴孔，所述圆槽的壁上开设有若干均匀分布的外容置槽，所述外磁体极性一致地容置于所述外容置槽内，所述隔套具有中空结构并套设于所述圆槽内，所述隔套的一端的中央部位向所述轴孔水平凸伸形成凸轴，所述凸轴容置于所述轴孔内并与所述轴孔枢接，所述隔套的另一端的末端分别沿所述安装板向外凸伸形成底座，所述底座与所述安装板固定连接，所述隔套与所述外轴套的圆槽的内壁之间具有一定的间隙，所述隔套的底座凸伸于所述外轴套并与所述外轴套之间保持一定的间隙，所述安装板上开设有通孔，所述内轴套容置于所述隔套的中空结构内，所述内轴套上开设有若干与所述外轴套的外容置槽对应的内容置槽，所述内磁体极性一致地容置于所述内容置槽内，所述内磁体与所述外磁体分布于同一平面上，所述传动轴一端与所述内轴套固定连接，所述传动轴的另一端穿过所述通孔并与所述通孔枢接。

较佳地，所述凸轴与所述轴孔之间以及所述传动轴与通孔之间分别设有轴承。通过轴承更好地实现凸轴与轴孔之间的枢接以及传动轴与通孔之间的枢接，且同时避免所述凸轴、轴孔、传动轴及通孔在传动过程中受损，从而使传动更平稳可靠。

较佳地，所述隔套的底座与安装板之间设有密封圈，通过设置密封圈，加强隔套的密封性能。

较佳地，所述内轴套上开设有安装槽，所述传动轴上对应设有与所述安装槽相配合的键，所述键卡置于所述安装槽内，通过键与安装槽的配合，使内轴套与传动轴的固定连接简单可靠，结构紧凑。

作为本发明的一个实施例，所述安装板为真空腔体的侧壁，所述隔套的底座固定在所述侧壁外部，所述外轴套与所述隔套位于所述真空腔体外，所述传动轴一端与所述内轴套固定连接，另一端穿过所述通孔并伸入所述真空腔体内。当外力施加带动外轴套旋转运动时，由于外磁体对内磁体的作用，从而带动内轴套和传动轴的转动，实现将动力由外轴套传递到真空腔体内。

作为本发明的另一实施例，所述安装板为真空腔体的侧壁，所述隔套的底座固定在所述侧壁内部，所述外轴套与所述隔套位于所述真空腔体内，所述传动轴一端与所述内轴套固定连接，另一端穿过所述通孔并伸出所述真空腔体外。当外力施加带动传动轴旋转运动时，由于内磁体对外磁体的作用，从而带动外轴套转动，实现将动力由传动轴传递到真空腔体内。