[发明专利]测量台架及其电气控制的方法

权利要求书

1.一种用于电气控制测量台架(11)的方法，测量台架(11)具有至少一个测量探针(26)从开始位置(31)到测量位置(32)的行进运动，尤其用于测量薄层厚度，在该方法中，利用驱动单元(35)启动电动机(34)用于执行至少一个测量，驱动单元(35)用于上下移动移位构件(23)，测量探针(26)通过保持器(24)紧固在移位构件(23)上，其特征在于，

-在执行首次测量前，执行学习程序，

-其中，测量探针(26)以预定的行进速度降低直到测量探针(26)触碰到测量物(14)的表面，

-其中，在驱动单元(35)和移位构件(23)之间，通过在测量探针(26)向下触碰到测量物(14)的表面之后驱动单元(35)相对于移位构件(23)断开，来启动飞轮机构(51)，

-其中，检测到飞轮机构(51)的启动并由开关装置(58)发出停止电动机(34)的控制信号，以及

-其中，至少预置的开始位置(31)和飞轮机构(51)的启动之间的行进被检测到，且随后结束学习程序。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，预置的开始位置(31)和飞轮机构(51)的启动之间的行进由位移传感器(39)的给定数量的脉冲确定，位移传感器(39)尤其是可编程旋转编码器。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，行进由与电动机(34)分开设置的位移传感器(39)检测。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，用于执行测量的从开始位置(31)到测量位置(32)的测量探针(26)的行进被分成快速模式阶段，及随后另外的超前减速阶段，速度优选以至少1∶10的关系减小。

5.一种用于电气控制测量台架(11)的方法，测量台架(11)具有至少一个测量探针(26)从开始位置(31)到测量位置(32)的行进运动，尤其用于测量薄层厚度，在该方法中，利用驱动单元(35)启动电动机(34)用于执行测量，驱动单元(35)用于上下移动移位构件(23)，测量探针(26)通过保持器(24)紧固在移位构件(23)上，其特征在于，

-在测量探针(26)向测量位置(32)的首次行进之前，所述测量探针(26)与测量台架(11)的控制单元联接，使得在测量探针(26)从开始位置(31)向测量位置(32)的行进运动期间，测量探针(26)的信号被提供给控制单元，

-当测量探针(26)接近测量物(14)以及当测量物(14)的测量信号被首次检测到时，根据测量探针(26)的信号变化，测量探针(26)朝向测量物(14)的行进速度减小，并且所述行进运动继续至少直到测量探针(26)向下触碰到测量物(14)的表面，

-在驱动单元(35)和移位构件(23)之间，在测量探针(26)已经向下触碰到测量物(14)的表面之后，飞轮机构(51)被启动，其断开驱动单元(35)和移位构件(23)之间的互相作用，并经由开关装置(58)，检测到飞轮机构(51)的启动并发出停止电动机(34)的控制信号，以及

-在向下触碰到测量物(14)的表面时或之后，测量探针(26)的测量信号被检测到。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，测量探针(26)的电压信号用于启动电动机(34)以使移位构件(23)移动。

7.一种用于电气控制测量台架(11)的方法，测量台架(11)具有至少一个测量探针(26)从开始位置(31)到测量位置(32)的行进运动，尤其用于测量薄层厚度，在该方法中，利用驱动单元(35)启动电动机(34)用于执行至少一个测量，驱动单元(35)用于上下移动移位构件(23)，测量探针(26)通过保持器(24)紧固在移位构件(23)上，其特征在于，

-在测量探针(26)向测量位置(32)的首次行进之前，所述测量探针(26)与测量台架(11)的控制单元联接，使得在测量探针(26)从开始位置(31)向测量位置(32)的行进运动期间，测量探针(26)的信号被提供给控制单元，

-在运动阶段，根据测量探针(26)的信号变化，减小测量探针(26)朝向测量物(14)的行进速度，且在达到限定用于非接触式测量的测量探针(26)的测量位置(32)的参考信号后，测量探针(26)被停止。