[发明专利]一种气相沉积系统和冷却水装置

权利要求书

1.一种气相沉积系统，其特征在于，包括：

设置在沉积炉管管口的密封法兰和与所述法兰相连接的冷却水装置；

所述冷却水装置包括至少两路供水管路，所述至少两路供水管路中包括至少一路设有开关装置的流量控制管路，通过所述流量控制管路的开启和关闭控制为所述法兰提供的冷却水的流量。

2.根据权利要求1所述的气相沉积系统，其特征在于，

每路所述供水管路上均设有用于设定和控制冷却水流量的流量计。

3.根据权利要求2所述的气相沉积系统，其特征在于，

每路所述供水管路的所述流量计的下游均设有用于检测是否有水流量通过的流量传感器。

4.根据权利要求1所述的气相沉积系统，其特征在于，

所述冷却水装置包括两路供水管路，所述两路供水管路中包括一路流量控制管路；

所述流量控制管路上依次设有手动阀门、流量计、开关装置和流量传感器；

所述两路供水管路中除所述流量控制管路外的另一供水管路上依次设有手动阀门、流量计、针阀和流量传感器。

5.根据权利要求4所述的气相沉积系统，其特征在于，所述开关装置为气动阀。

6.一种冷却水装置，其特征在于，包括至少两路供水管路，所述至少两路供水管路中包括至少一路设有开关装置的流量控制管路，通过所述流量控制管路的开启和关闭控制为被冷却物提供的冷却水的流量。

7.根据权利要求6所述的冷却水装置，其特征在于，

每路所述供水管路上均设有用于设定和控制冷却水流量的流量计。

8.根据权利要求7所述的冷却水装置，其特征在于，

每路所述供水管路的所述流量计的下游均设有用于检测是否有水流量通过的流量传感器。

9.根据权利要求6所述的冷却水装置，其特征在于，

所述冷却水装置包括两路供水管路，所述两路供水管路中包括一路流量控制管路；

所述流量控制管路上依次设有手动阀门、流量计、开关装置和流量传感器；

所述两路供水管路中除所述流量控制管路外的另一供水管路上依次设有手动阀门、流量计、针阀和流量传感器。

10.根据权利要求9所述的冷却水装置，其特征在于，所述开关装置为气动阀。