[发明专利]自动光学检查设备及其测光工具板和调光方法

权利要求书

1.一种自动光学检查设备，其特征在于，包括：

检测平台；

放置于所述检测平台上的测光工具板，所述测光工具板表面设有自表面圆弧隆起或凹下的参照物；

位于所述检测平台上方的光源、扫描器，所述光源发出的光线投射至所述参照物，所述扫描器用于利用所述参照物对所述光线的反射对所述参照物进行扫描，并得到扫描图像；

调节装置，用于分析所述扫描图像，根据所述扫描图像判断所述光源投射至参照物的光线的是否满足预设的强度、角度和/或反射光的均匀度，在不满足时调节所述光源光线的强度和/或角度直至满足要求。

2.根据权利要求1所述的自动光学检查设备，其特征在于：所述测光工具板上圆弧隆起的参照物是半圆凸球或十字叉，所述十字叉由两根圆柱体组成。

3.根据权利要求1所述的自动光学检查设备，其特征在于：所述测光工具板上圆弧凹下的参照物是圆形凹坑。

4.根据权利要求2或3所述的自动光学检查设备，其特征在于：所述参照物是表面抛光的金属物体。

5.根据权利要求2或3所述的自动光学检查设备，其特征在于：所述参照物包括多种，每种参照物的数量为多个，并且大小不一。

6.一种自动光学检查设备用测光工具板，其特征在于，所述测光工具板表面设有自表面圆弧隆起或凹下的参照物。

7.根据权利要求6所述的自动光学检查设备用测光工具板，其特征在于：所述测光工具板上圆弧隆起的参照物是半圆凸球或十字叉，所述十字叉由两根圆柱体组成，所述测光工具板上圆弧凹下的参照物是圆形凹坑。

8.根据权利要求6或7所述的自动光学检查设备用测光工具板，其特征在于：所述参照物是表面抛光的金属物体。

9.根据权利要求6或7所述的自动光学检查设备用测光工具板，其特征在于：所述参照物包括多种，每种参照物的数量为多个，并且大小不一。

10.一种自动光学检查设备的调光方法，其特征在于，包括：

将测光工具板放置于检测平台上的，所述测光工具板表面设有自表面圆弧隆起或凹下的参照物；

以一定强度和角度向所述参照物投射光线，利用所述参照物对所述光线的反射对所述参照物进行扫描，并得到扫描图像；

分析所述扫描图像，根据所述扫描图像判断所述光源投射至参照物的光线的是否满足预设的强度、角度和/或反射光的均匀度，在不满足时调节所述光源光线的强度和/或角度直至满足要求。