[发明专利]利用表面等离子体共振效应的检测装置

权利要求书

1.一种利用表面等离子体共振效应的检测装置，适于检测一待测物的共振角，其特征在于：所述利用表面等离子体共振效应的检测装置包含：

一挠性连杆平台，包含一输入杆、一输出杆、一连接杆与一固定杆，所述输入杆的一端枢接于所述输出杆的一端，所述连接杆的一端枢接于所述输入杆的中心，所述连接杆另一端枢接于所述固定杆的一端，所述输出杆的另一端则枢接于所述固定杆的另一端，其中所述输入杆的自由端适于相对所述固定杆而进行线性运动，所述输出杆则适于以连接至所述固定杆的一端为轴心而旋转；

一光源组，配置于所述挠性连杆平台上，并相对所述输出杆而固定，其中所述光源组适于提供一偏振光；

一三棱镜，配置于所述挠性连杆平台上，并相对所述固定杆而固定，所述三棱镜具有一光入射面、一光出射面与一底面，且所述三棱镜位于所述偏振光的光路径上；

一金属薄膜，镀于所述三棱镜的所述底面上，其中当所述偏振光由所述光入射面入射所述棱镜，并照射至所述金属薄膜后，所述偏振光会被反射而从所述光出射面出射，而所述待测物是配置于所述金属薄膜的表面上；以及

一光侦测单元，配置于所述偏振光从所述三棱镜出射后的光路径上，适于侦测所述偏振光从所述棱镜出射后的光强度。

2.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：所述光源组包含：

一光源，适于提供一激光；以及

一偏光片，配置于所述光源与所述棱镜之间，并位于所述激光的光路径上，所述偏光片适于将所述激光转换为所述偏振光。

3.如权利要求2所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：所述光源组另包含：

一第一分光镜，配置于所述偏光片与所述三棱镜之间，其中当所述偏振光射入所述第一分光镜后，部分所述偏振光适于被所述第一分光镜反射而成为一参考光束，所述偏振光的其余部分则穿透所述第一分光镜而射入所述三棱镜；

一摇摆相位延迟镜片组，配置于所述参考光束的光路径上；以及

一旋转偏光片，配置于所述参考光束的光路径上，并位于所述第一分光镜与所述摇摆相位延迟镜片组之间，其中所述旋转偏光片适于旋转以改变其与所述摇摆相位延迟镜片组之间的距离。

4.如权利要求3所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：另包含一第二分光镜，配置于所述三棱镜与所述光侦测单元之间，并位于所述参考光束以及所述偏振光的光路径上，所述第二分光镜适于反射所述参考光束，以使所述参考光束射至所述光侦测单元。

5.如权利要求4所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：另包含一平面反射镜，配置于所述挠性连杆平台上，并相对所述固定杆而固定，其中所述参考光束在通过所述摇摆相位延迟镜片组之后，是通过所述平面反射镜将其反射至所述第二分光镜。

6.如权利要求3所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：所述光侦测单元包含：

一检偏器，是所述偏振光与参考光束组合成具有相同偏振方向的两道光，以形成一光干涉条纹影像；以及

一光接收器，接收并记录所述光干涉条纹影像结果。

7.如权利要求6所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：所述光侦测单元另包含一透镜组，配置于所述检偏器与所述光接收器之间，适于放大经所述检偏器所产生所述光干涉条纹影像。

8.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：所述偏振光适于平行所述输出杆而入射所述三棱镜。

9.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：所述偏振光入射所述三棱镜的光路径与所述输出杆之间夹一角度。

10.如权利要求1所述的利用表面等离子体共振效应的检测装置，其特征在于：另包含一线性致动组，固定于所述挠性连杆平台上，所述线性致动组适于使所述输入杆的自由端产生线性位移。