[发明专利]一种钨基浸渍阴极及其制备方法有效
申请号: | 201010173502.6 | 申请日: | 2010-05-12 |
公开(公告)号: | CN101834106A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 吴华夏;方卫;孟昭红 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所 |
主分类号: | H01J23/04 | 分类号: | H01J23/04;H01J9/02 |
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地址: | 241002 安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 浸渍 阴极 及其 制备 方法 | ||
1.一种钨基浸渍阴极,包括阴极钼筒,钼筒内上部为基体,基体下部设有热子组件,其特征在于所述基体由60~96%(重量百分比)钨粉、1~10%(重量百分比)氧化锆粉,余量为氧化钪粉组分,所述基体孔隙中浸渍铝酸盐。
2.根据权利要求1所述的钨基浸渍阴极,其特征在于所述基体孔隙中浸渍铝酸钡。
3.根据权利要求1所述的钨基浸渍阴极,其特征在于所述基体直径为1~5mm,高度为1~5mm。
4.根据权利要求3所述的钨基浸渍阴极,其特征在于所述基体直径为3.5mm,高度为1.4mm。
5.一种制备权利要求1所述的钨基浸渍阴极的方法,其特征在于所述方法包括:
1)将钨粉、氧化锆粉和氧化钪粉分别放入700~2100℃的氢炉内退火并保温;
2)按重量百分比取步骤1中的钨粉60~96%、氧化锆粉1~10%,余量为氧化钪粉进行研磨混匀,用装有阴极钼筒的成型模将混合粉压制成平顶阴极基体并烧结;
3)将步骤2中制得的基体置于铝酸盐粉末中,干氢气氛下1000~2000℃浸渍1~5分钟,浸渍后多余的盐用车刀清除;
4)安装热子组件。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于所述步骤1中的钨粉为1~10微米粒径、纯度为99.95%的微颗粒;氧化锆粉和氧化钪粉的粒径为亚微米级。
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