[发明专利]一种热电堆红外探测器有效
| 申请号： | 201010173938.5 | 申请日： | 2010-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102244190A | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘瑞文;焦斌斌;陈大鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/02 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 热电 红外探测器 | ||
【权利要求书】：
1.一种热电堆红外探测器，包括全镂空结构的衬底以及其上的热电堆、第一红外吸收层和钝化层，其特征在于，还包括形成于钝化层之上的反射层，以及与第一红外吸收层接触且能遮挡所述反射层的第二红外吸收层。
2.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其中形成所述反射层的材料包括：铝、金或金铬合金。
3.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其中所述第二红外吸收层的厚度为0.3至0.6米。
4.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其中所述第二红外吸收层包括与第一红外吸收层接触的红外区接触部分以及在反射层上方且不与所述反射层接触的遮阳部分。
5.根据权利要求4所述的热电堆红外探测器，其中所述遮阳部分的下表面与反射层上表面之间的距离为入射红外辐射波长的四分之一。
6.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其中形成所述第二红外吸收层的材料包括SiNx。
7.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其中所述衬底为全镂空结构，镂空部分暴露热电堆，以减少热电堆与衬底热传导而造成的灵敏度降低。
8.根据权利要求1所述的热电堆红外探测器，其中所述第二红外吸收层通过牺牲层释放技术形成。
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