[发明专利]一种制备叉指背接触双面太阳能电池的方法

权利要求书

1.一种制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，该方法包括：

步骤1：对晶硅电池片进行清洗制绒；

步骤2：在制绒后的晶硅电池片表面进行轻扩制结；

步骤3：对轻扩制结后的晶硅电池片进行热氧化；

步骤4：在晶硅电池片上划槽打孔；

步骤5：在晶硅电池片槽区进行重扩；

步骤6：表面钝化制备减反膜；

步骤7：激光再次开槽；

步骤8：制备电极。

2.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤1中所述对晶硅电池片进行清洗制绒，是在碱性溶液或酸性溶液中进行的；所述晶硅电池片是小尺寸碎片，或是生产中使用的125单晶硅片或156多晶硅片。

3.根据权利要求2所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，所述在碱性溶液中进行清洗制绒，具体包括：

采用按一定比例配制的NaOH、Na₂SiO₃和无水乙醇混合液对晶硅电池片进行各向异性腐蚀，在晶硅电池片表面均匀制绒，绒面结构呈现出传统的金字塔形。

4.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤2中所述在制绒后的晶硅电池片表面进行轻扩制结，包括：

将具有绒面结构的晶硅电池片置入扩散炉中进行扩散，扩散源为液态POCl₃，扩散出结深为200～500nm的PN结，经轻扩达到表面方块电阻30～60Ω/□。

5.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤3中所述对轻扩制结后的晶硅电池片进行热氧化，采用干法氧化或湿法氧化，形成厚度为30～300nm的SiO₂保护膜。

6.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤4中所述在晶硅电池片上划槽打孔，包括：

在进行热氧化后具有SiO₂保护膜的晶硅电池片上划槽、打孔，以便实施选区发射，并将双面电极连接到一起。

7.根据权利要求6所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，所述划槽采用激光器、机械划痕或者腐蚀的方法实现。

8.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤4与步骤5之间进一步包括：

将晶硅电池片置于碱性抛光溶液中，去除表面损伤，然后置于酸性溶液中中和过剩的碱。

9.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤5中所述在晶硅电池片槽区进行重扩，是利用三氯氧磷在晶硅电池片槽区进行扩散形成PN结，经重扩达到表面方块电阻20～45Ω/□。

10.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤5与步骤6之间进一步包括：

利用一定浓度的HF酸、HCl酸和水的混合腐蚀液移除扩散过程中形成的磷硅玻璃。

11.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤6中所述表面钝化制备减反膜，是在晶硅电池片表面沉积SiN薄膜形成SiO₂层和SiN层复合减反膜。

12.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤7中所述激光再次开槽或者机械开槽，是用以露出正电极图形。

13.根据权利要求1所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，步骤8中所述制备电极是采用电镀方法，或者使用丝网印刷或者蒸镀方法，制备的电极是银电极或者是复合金属电极。

14.根据权利要求13所述的制备叉指背接触双面太阳能电池的方法，其特征在于，所述采用电镀方法制备电极，是采用一次电镀电极，氮气保护下合金温度为350～900℃，合金时间为10～60秒。