[发明专利]一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法及系统有效
| 申请号： | 201010175750.4 | 申请日： | 2010-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101839794A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 张志成;徐磊;唐建强;阮根才;李天普;戴永成 | 申请（专利权）人： | 杭州大和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 王兵;黄美娟 |
| 地址： | 310053 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 大型 空腔 批量 真空 检漏 方法 系统 | ||
1.一种用于大型真空腔体批量真空检漏的方法，对大型真空产品检漏时先粗抽真空再用高精度检漏仪检漏，其步骤如下：
①将被检真空产品洗净后，与真空管道接口联接，检查系统气路；
②对多个被检真空产品同时进行粗抽；
③待被检测产品中的真空度达到高真空度后，用高精度的检漏仪对被检测产品进行精抽和检查。
2.实现权利要求1所述的用于大型真空腔体批量真空检漏方法的系统，包括真空检漏仪，其特征在于：所述真空检漏仪并接有真空粗抽泵，所述真空检漏仪与所述粗抽泵均连接在用于获得真空系统粗抽时的真空度动态数据的真空托表上，所述真空托表的另一侧与检测产品连接。
3.根据权利要求2所述的用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于：所述真空托表上连接有多个检查产品。
4.根据权利要求2或3所述的用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于：所述真空托表与检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪之间均设有真空阀门。
5.根据权利要求4所述的用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于：所述真空托表的连接管路上设有预留接口。
6.根据权利要求5所述的用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于：所述真空托表与真空阀门之间通过无缝钢管连接。
7.根据权利要求6所述的用于大型真空腔体批量真空检漏的系统，其特征在于：所述检查产品、真空粗抽泵、真空检漏仪与真空阀门之间均通过波纹管连接。
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