[发明专利]一种纳米复合钛铝硅氮化物刀具涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201010176335.0 | 申请日： | 2010-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN101831608A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王成勇;成晓玲;余东海;张凤林;匡同春 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 复合 钛铝硅 氮化物 刀具 涂层 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米复合钛铝硅氮化物刀具涂层，其特征在于所述的涂层按原子百分比计配比如下：钛30～60at.％，铝6～30at.％，硅2～20at.％，氮30～50at.％；
所述钛铝硅氧化物刀具涂层的厚度为1～4微米。
2.一种权利要求1所述的纳米复合钛铝硅氮化物刀具涂层的制备方法，其特征在于所述刀具涂层制备的步骤为：将经预处理后的未涂层刀具均匀固定在支架上，装入物理气相镀膜机中，调节工件支架转速为10～20rpm，抽至本底真空2.5～3.0×10-3Pa，打开加热器升温至300～500℃；通入Ar气，调节真空室约为0.3～0.4Pa，基体加负偏电压290～310V，进行辉光溅射清洗9～11min，溅射功率7kw；随后开启极离子枪；然后降低基体偏电压至200～260V，同时向镀膜室通入N2气，流量为200～300sccm、温度400～500℃、工作压力0.7～0.9Pa条件下，沉积TiN过渡层9～11min；根据通入反应气体N2，沉积钛铝硅氮化物刀具涂层，沉积时间保持在100～120min；完成镀膜后，刀具随炉降温至170℃后取出常温冷却即可。
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