[发明专利]碱性蚀刻PH值自动控制系统及其控制方法有效
| 申请号： | 201010177267.X | 申请日： | 2010-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN101833341A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 林茂忠;金立冬 | 申请（专利权）人： | 四川超声印制板有限公司;广州市巨龙印制板设备有限公司 |
| 主分类号： | G05D21/00 | 分类号： | G05D21/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 卿诚;吴彦峰 |
| 地址： | 621700 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碱性 蚀刻 ph 自动控制系统 及其 控制 方法 | ||
1.碱性蚀刻PH值自动控制系统，包括控制整个系统运行的自动控制系统(1)，用于向蚀刻段(2)添加蚀刻液的蚀刻液添加槽(3)以及用于检测显示蚀刻段(2)内溶液比重并将结果传输到自动控制系统(1)的比重控制器(4)，其特征在于还包括与蚀刻段(2)连接用于向蚀刻段(2)添加氯化氨溶液的氯化氨添加槽(5)，以及与蚀刻段(2)连接用于向蚀刻段(2)添加氨水溶液的氨水添加槽(6)。
2.根据权利要求1所述的碱性蚀刻PH值自动控制系统，其特征在于还包括设置于蚀刻段(2)上用于检测显示蚀刻段(2)内蚀刻液PH值的PH电极(7)。
3.根据权利要求1或2所述系统的控制方法，其特征在于包括下列步骤：
a、当生产中PH值偏高，超过设定范围时：通过自动控制系统(1)控制，将氯化铵添加槽(5)中的氯化铵溶液添加到蚀刻段(2)，此时蚀刻段(2)中的蚀刻液氨水浓度下降，PH值自动下降而受控；
b、当生产中PH值偏低，超过设定范围时：通过自动控制系统(1)控制，将氨水添加槽(6)中的氨水加入蚀刻段(2)，此时蚀刻段(2)中的蚀刻液PH值随氨水浓度增加而增加。
4.根据权利要求3所述的控制方法，其特征在于所述步骤a中所添加的氯化氨溶液中不含氨水，氯离子含量与蚀刻段(2)中的氯离子一致。
5.根据权利要求3所述的控制方法，其特征在于所述步骤a中在添加氯化氨溶液时，由自动控制系统(1)控制减少蚀刻液添加槽(3)向蚀刻段(2)中的加入量，以保证蚀刻段(2)中的蚀刻液比重范围受控。
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