[发明专利]基于表面涂覆的微小型零件集成制造方法

权利要求书

1.一种基于表面涂覆的微小型零件集成制造方法，其特征在于它是通过以下方法步骤实现：

1)根据设计要求对所有待加工的微小零件/结构进行加工工艺与尺寸链分析，并根据经济加工精度，放大微小系统中零件的制造公差或调整结构的基本尺寸，确定机械加工工序尺寸。

2)按照上一步所确定的机械加工工序尺寸对微小结构/零件进行精密加工，使微小结构/零件加工成为传统意义上的不可修复的废品；

3)对加工后的微小结构/零件待加工表面进行精密测量，并根据与最终设计尺寸的比较，确定涂覆补偿量；

4)对微小结构/零件进行超声波清洗；

5)选用合适的沉积方法、涂层材料及工艺参数，根据步骤3)中的测量结果对零件待加工表面采用表面涂覆，进行尺寸补偿，并进行在线测量对涂覆厚度进行实时监测，精确控制涂(镀)层厚度，达到设计要求的尺寸精度与表面质量。

2.根据权利要求1所述基于表面涂覆的微小型零件集成制造方法，其特征在于上述步骤5)中，合适的沉积方法是指物理气相沉积方法或化学气相沉积方法或分子束外延技术方法。

3.根据权利要求1所述基于表面涂覆的微小型零件集成制造方法，其特征在于上述步骤5)中，涂层材料可以选用氮化物或氧化物或氮碳化合物或类金刚石。