[发明专利]根据完全米勒矩阵测量值确定液晶单元参数的方法和装置有效

专利信息
申请号: 201010180328.8 申请日: 2006-06-09
公开(公告)号: CN101832818A 公开(公告)日: 2010-09-15
发明(设计)人: M·H·史密斯 申请(专利权)人: 阿克索梅特里克斯公司
主分类号: G01J4/00 分类号: G01J4/00;G06F17/50;G06F17/16;G01B21/02;G01B21/22
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 刘金凤;王忠忠
地址: 美国阿*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 根据 完全 米勒 矩阵 测量 确定 液晶 单元 参数 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种用于使用计算机处理设备来分析表示受测偏振改变元件的所测得的偏振态的数据以确定所述受测偏振改变元件的至少一个物理参数的方法,所述方法包括:

A)发射具有多个偏振态的光束穿过所述受测偏振改变元件,所述多个偏振态中的每个偏振态与所述多个偏振态中的其它所述偏振态具有不同的取向、椭圆率和旋向性,

B)在所述多个偏振态穿过所述受测偏振改变元件之后,在所述受测偏振改变元件的特定点处测量被所述受测偏振改变元件所改变后的偏振态,并基于所测量的偏振态和所述多个偏振态计算所述受测偏振改变元件的偏振矩阵,

C)在计算机处理设备中,基于所述受测偏振改变元件的至少一个估计的物理参数,开发包括建模的偏振属性的偏振改变元件模型,

D)使用表示所述所测得的偏振态的所述数据,调整所述模型,直到在所述受测偏振改变元件的偏振属性和所述建模的偏振属性之间获得接近匹配为止,

E)由此,在获得所述接近匹配时,所述偏振改变元件模型的所述至少一个估计的物理参数表示所述受测偏振改变元件的相应的所述物理参数。

2.如权利要求1所述的方法,其中所述步骤A)进一步包括发射具有包括具有不同取向、椭圆率和旋向性的所述多个偏振态的连续的时变偏振态的光束。

3.如权利要求1所述的方法,进一步包括发射带有具有不同的取向、椭圆率和旋向性的所述多个偏振态的光束并测量数量足够的所述多个偏振态,以覆盖大部分邦加球穿过所述受测偏振改变元件。

4.如权利要求1所述的方法,进一步包括发射带有具有不同的取向、椭圆率和旋向性的所述多个偏振态的光束并测量数量足够的所述多个偏振态,以允许计算米勒矩阵或琼斯矩阵。

5.如权利要求1所述的方法,其中所述步骤D)进一步包括迭代地修改所述偏振改变元件模型的所述估计的物理参数中的所述至少一个,直到获得所述偏振改变元件模型的所述偏振属性与所述受测偏振改变元件的偏振属性之间的最小均方根差为止。

6.如权利要求5所述的方法,其中所述步骤D)进一步包括改变包括间隙、扭转角、配向和预倾斜角的所述估计的物理参数中的至少一个。

7.如权利要求6所述的方法,进一步包括:在获得所述接近匹配之后,显示改变后的所述至少一个估计的物理参数,所述至少一个接近匹配的改变后的估计的物理参数表示所述受测偏振改变元件的相应物理参数。

8.如权利要求1所述的方法,进一步包括将所述偏振改变元件安装到XY可平移台,以便所述偏振改变元件在X方向和Y方向上能够移动,从而使得能够在所述偏振改变元件上的任意位置处进行测量。

9.如权利要求1所述的方法,其中所述步骤D)进一步包括:

改变带有具有不同取向、椭圆率和旋向性的所述多个偏振态的光束被发射通过所述偏振改变元件的入射角或所述入射角的方向,或者改变所述入射角和所述入射角的方向二者。

10.一种偏振改变元件观看屏幕,在制造过程中使用权利要求1所述的方法检测所述偏振改变元件观看屏幕的缺陷。

11.一种用于使用计算机处理器来确定偏振改变元件的物理参数的方法,所述方法包括:

A)测量受测偏振改变元件的偏振属性,

B)在所述计算机处理器中,开发偏振改变元件的数学模型,所述数学模型使用估计的物理参数来对所述受测偏振改变元件进行建模,

C)迭代地修改所述偏振改变元件的所述数学模型中的值,直到在偏振改变元件的所述数学模型的偏振属性与所述受测偏振改变元件的所述所测得的偏振属性之间获得接近匹配为止,

D)基于偏振改变元件的接近匹配的所述数学模型的所述估计的物理参数,向所述受测偏振改变元件提供所述受测偏振改变元件的质量的表示。

12.如权利要求11所述的方法,其中所述步骤A)进一步包括:

发射带有均具有显著不同的取向、椭圆率和旋向性的时变偏振态的光束并分析数量足够的所述时变偏振态,以覆盖大部分邦加球穿过所述受测偏振改变元件。

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