[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

框架；

输送装置，其一端连接于和所述框架相结合的移动装置上，另一端为自由端，从而从布置在外部的装载机接收基板后将其传送；

第一升降装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向移送所述基板；

第一移送装置，其设置在与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接收所述基板后将其传送；

基板处理单元，其从所述第一移送装置接收所述基板并对其进行处理；

第二移送装置，接收在所述基板处理单元已完成处理的基板，并将其传送；以及

第二升降装置，升降从所述第二移送装置接收的所述基板，并传递给所述输送装置。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于：

所述移动装置为直线模块。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，所述移动装置设置有移动部件，所述输送装置包括：

连接部件，其与所述移动部件相结合；以及

多个臂，其结合在所述连接部件上，用于搁置所述基板。

4.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于：

所述连接部件上设置有平衡重，所述平衡重位于所述多个臂的相反侧。

5.根据权利要求3所述的基板处理装置，其特征在于：

所述多个臂上安装有挡块，其用于保持基板的安置状态。

6.一种基板处理装置，其特征在于，包括：

框架；

移动装置，设置在所述框架上；

输送装置，与所述移动装置相结合，通过设置在外部的装载机接收基板并将其传送；

第一升降装置，从所述输送装置接收所述基板，并朝升降方向传送所述基板；

第一移送装置，设置在与所述输送装置不同的层上，并且从所述第一升降装置接收所述基板后传送；

基板处理单元，从所述第一移送装置接收所述基板后对其进行处理；

第二移送装置，接收在所述基板处理单元已完成处理的基板后将其传送；

第二升降装置，升降从所述第二移送装置接收的基板后，将其传递给所述输送装置，

其中所述输送装置包括：

支撑部件，与所述移动装置相结合；

旋转机构，与所述移动装置和所述支撑部件相结合；

多个臂，通过所述旋转机构旋转，用于置放基板。

7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，所述旋转机构由直线模块构成，所述直线模块包括：

设成一直线状的定子和沿所述定子进行直线运动的移动部件。

8.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于具有臂结合部件，所述臂结合部件与所述旋转机构相结合，用于将每个臂连接在一起。

9.根据权利要求8所述的基板处理装置，其特征在于，所述旋转机构包括马达和齿轮组件，所述齿轮组件设置在所述支撑部件上，并藉由所述马达来旋转所述多个臂，包括：

蜗杆齿轮，结合在所述马达的转轴上；

蜗轮，与所述蜗杆齿轮相啮合旋转，并结合到所述臂结合部件。

10.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于：

所述多个臂上设置有多个支撑销，其用于支撑所述基板并使其保持在一定高度上。