[发明专利]常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器

权利要求书

1.一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，其特征在于：包括两个表面光滑且相互平行的平板形水冷金属电极，一块绝缘板条，石英玻璃片及绝缘密封外壳；等离子体放电主体包括射频驱动电极和地电极，其中射频电极经过匹配器和射频电源相连，地电极接地，在放电区间的两侧用石英玻璃将其密封，放电电极用绝缘材料固定在电极座外壳上，在绝缘材料的一端设有多个通气孔，该通气孔与进气导管相连，进气导管与配气系统相连接，该通气孔将气体引入气体缓冲室后通过两个电极间构造的送气通道后进入放电区间；所述的平板型等离子体发生器，其射频电极和地电极为水冷金属平板电极，该电极表面光滑且相互平行，在该发生器近邻气体缓冲室的电极表面粘结条形绝缘块，该条形绝缘块的总厚度小于两金属电极之间的间距，放置的方位跟气流的方向垂直，从而形成送气通道，在该条形绝缘块构造的送气通道下游未被条形绝缘块覆盖的裸露金属电极间形成等离子体放电区域。

2.根据权利要求1所述的一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，其特征在于：射频电极和地电极是电极表面光滑且相互平行的平板形水冷金属电极，在该发生器近邻气体缓冲室的电极表面粘结条形绝缘块，该条形绝缘块的总厚度小于两金属电极之间的间距，放置的方位跟气流的方向垂直，从而形成送气通道。

3.根据权利要求1所述的一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，其特征在于：射频电极和地电极之间的放电间距范围为1～2.5毫米。

4.根据权利要求1所述的一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，其特征在于：该配气系统即供气源所供的气体是氩气或氦气，或者氩气和氧气，氩气和氮气的混合气体。

5.根据权利要求1所述的一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，其特征在于：所述电极座外壳中的绝缘材料，为亚克利或聚四氟乙烯；电极，为不锈钢、铜或者铝制作。

6.根据权利要求1所述的一种常压下平板电极射频电容耦合氩氧/氩氮等离子体发生器，其特征在于：所述的绝缘条形块材料，为聚四氟乙烯或其它电绝缘材料。