[发明专利]一种脉动缓冲器及研磨液供应系统

权利要求书

1.一种脉动缓冲器，包括壳体，所述壳体的两侧分别设置有液体入口和液体出口；所述壳体内设置有气体腔，其特征在于，所述气体腔的侧壁由可伸缩的伸缩膜组成，所述气体腔的顶面和底面由隔膜和所述壳体的底面组成，所述伸缩膜的一端固定于所述壳体的底面，另一端固定连接所述隔膜；所述气体腔内设置有中心轴和中心轴套，所述中心轴套的底面固定于所述壳体的底面，所述中心轴套的顶面设置有开口，所述中心轴通过所述中心轴套顶面的开口，其第一端连接所述隔膜，第二端位于所述中心轴套内；所述中心轴的第二端具有限位末端，所述限位末端的宽度大于所述中心轴套顶面的开口的间距；所述气体腔的底面设置有气体入口，用于向所述气体腔内通入压缩气体。

2.如权利要求1所述的脉动缓冲器，其特征在于，所述限位末端与所述中心轴一体形成。

3.如权利要求1所述的脉动缓冲器，其特征在于，所述限位末端为独立部件，通过螺纹与所述中心轴连接。

4.如权利要求1所述的脉动缓冲器，其特征在于，所述壳体底面的外侧还固定有中心轴套底座，所述中心轴底座与所述中心轴套的底面连接固定，使所述中心轴套固定于所述壳体的底面。

5.如权利要求1所述的脉动缓冲器，其特征在于，所述隔膜的材质为聚四氟乙烯。

6.如权利要求1所述的脉动缓冲器，其特征在于，所述伸缩膜的材质为聚四氟乙烯。

7.一种采用了如权利要求1至6中任一权利要求所述的脉动缓冲器的研磨液供应系统，包括研磨液存储装置、研磨液供应管道、研磨液供给口、泵和脉动缓冲器，所述研磨液供应管道依次将所述研磨液存储装置、泵、脉动缓冲器和所述研磨液供给口连接。

8.如权利要求7所述的研磨液供应系统，其特征在于，还包括研磨液回流管道，所述研磨液回流管道的一端连接所述研磨液供给口，另一端连接所述研磨液供应装置。

9.如权利要求7所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述研磨液供给口还连接将研磨液分配到研磨机台的分配管道。

10.如权利要求9所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述分配管道为多个，用于将研磨液分配至不同的研磨机台。

11.如权利要求7所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述研磨液存储装置为多个，所述研磨液供应管道同时连接至所述多个研磨液存储装置中。

12.如权利要求8所述的研磨液供应系统，其特征在于，所述研磨液存储装置为多个，所述研磨液供应管道和所述研磨液回流管道同时连接至所述多个研磨液存储装置中。