[发明专利]悬浮输送装置以及悬浮单元

权利要求书

1.一种悬浮输送装置，将基板向输送方向进行悬浮输送，其特征在于，

具备：设置在装置框架上，并向上述输送方向输送基板的输送机构；

设置在上述装置框架上，内部与提供悬浮气体的悬浮气体供给源相连接，并容纳悬浮气体的容器；以及

沿着上述输送方向以及与上述输送方向正交的输送宽度方向设置在上述容器上，并利用悬浮气体的压力使基板悬浮的多个悬浮单元，

多个上述悬浮单元的每一个具备：在上面形成有喷出悬浮气体的喷嘴的空心状的悬浮单元主体；和设置在上述悬浮单元主体的下侧，内部与上述容器的内部连通，并在上侧具有将悬浮气体导入到上述悬浮单元主体的内部的开口部的空心状的悬浮单元脚，

多个上述悬浮单元之中排列在上述输送宽度方向的两侧的侧悬浮单元，除了具备上述悬浮单元主体以及上述悬浮单元脚之外，还具备调节上述开口部的开口面积的调节部件。

2.如权利要求1所述的悬浮输送装置，其特征在于，

在上述侧悬浮单元的上述悬浮单元主体的上面形成有设置孔，

上述调节部件以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装在上述设置孔中，

上述调节部件构成为能够从上方操作，并且能够通过绕铅垂轴心的旋转来改变上述开口部的开口面积。

3.如权利要求1或2所述的悬浮输送装置，其特征在于，

上述喷嘴沿着上述悬浮单元主体的外缘形成，并且，朝向铅垂方向向上述悬浮单元主体的中心侧倾斜而形成。

4.一种悬浮单元，利用悬浮气体的压力使基板悬浮，其特征在于，具备：

在上面形成有喷出悬浮气体的喷嘴的悬浮单元主体；

设置在上述悬浮单元主体的下侧，并在上侧具有将悬浮气体导入到上述悬浮单元主体的内部的开口部的悬浮单元脚；以及

调节上述开口部的开口面积的调节部件。

5.如权利要求4所述的悬浮单元，其特征在于，

在上述悬浮单元主体的上面形成有设置孔，

上述调节部件以能够绕铅垂轴心旋转的方式嵌入安装在上述设置孔中，

上述调节部件构成为能够从上方操作，并且能够通过绕铅垂轴心的旋转来改变上述开口部的开口面积。

6.如权利要求5所述的悬浮单元，其特征在于，

在上述设置孔的周缘背面，沿着圆周方向留出间隔而形成多个配合部，

上述调节部件相对于上述悬浮单元主体能够上下移动，

在上述调节部件的外周面上，以与上述悬浮单元主体的上述设置孔的周缘背面相对的方式形成法兰盘，

在上述法兰盘上，沿着圆周方向留出间隔而形成能够与多个上述配合部相配合的多个对方配合部，

除了具备上述悬浮单元主体、上述悬浮单元脚以及上述调节部件之外，还具备将上述调节部件向上方加载的加载部件。

7.如权利要求4至6中任一项所述的悬浮单元，其特征在于，

上述喷嘴沿着上述悬浮单元主体的外缘形成，并且，朝向铅垂方向向上述悬浮单元主体的中心侧倾斜而形成。