[发明专利]半导体专用设备上吸片台清洗装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用来清洗半导体专用设备吸片台的清洗主体为毛刷棍的清洗装置。

背景技术

在国内外的半导体设备中，对吸片台的清洗工作主要采用的是直线滑块式清洗装置和圆周旋转式清洗装置。直线滑块式清洗装置的缺点是对吸片台的清洗效率低，结构占用空间较大；圆周旋转式清洗装置的缺点是吸片台清洗不均匀，尤其对于吸片台的中心部位不能够进行很好的清洗，工作起来各有不同的缺点和问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种半导体专用设备上吸片台毛刷清洗装置，该装置具有结构紧凑、运转平稳、清洗均匀、占用空间小等优点，能够很好的解决传统清洗装置的各种缺点和存在的问题。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

本发明包括外罩、毛刷棍部分、传动部分、迷宫密封部分和喷淋部分；其中毛刷棍部分由毛刷棍和均匀分布设在毛刷棍上的浓密的尼龙刷毛构成，毛刷棍设置在外罩内；传动部分包括毛刷轴、轴承座、轴承，毛刷轴穿过外罩上的通孔与毛刷棍连接，轴承设置为两个固定在轴承座上轴承间设有内、外隔圈，在轴承端部设置有轴承锁母，轴承锁母通过螺纹连接在毛刷轴上压紧轴承；迷宫密封部分由设置在轴承座与外罩之间套在毛刷轴上配套的压盖和密封环构成，压盖固定在轴承座上；所述喷淋部分由设置在外罩内的喷水管构成，喷水管对应毛刷棍的部位上均匀分布设有稠密的小口径喷水口，在外罩底部设置有放水槽。

本发明在毛刷轴外端设置有端盖，端盖可拆卸连接在轴承座上。在外罩上可设置两个喷水管，两个喷水管分别位于毛刷棍两侧。所述毛刷棍上设置的尼龙毛刷单个刷毛的直径为0.32-0.38mm，在毛刷棍径向上设置有8-12个刷毛，在毛刷棍轴向上设置有10-14排刷毛，每排刷毛间距为4mm——6mm。所述设置在喷水管上的喷水口设置规格为，喷水口直径1-1.2mm，每排设置26个喷水口，每排间距为4-6mm。

本发明的有益效果为：

本发明与现有技术相比是一种结构简单实用、使用方便和结构可靠、运行平稳的吸片台清洗装置。与传统技术相比，本发明的明显特点是：以毛刷棍作为清洗主体，毛刷棍上均匀分布着浓密的尼龙刷毛，能够较好得对吸片台进行清洗，清洗范围广，清洗匀称；毛刷罩上安装有两个喷水管，每个喷水管相对毛刷棍的位置开设有稠密的小直径喷水口，既可以保证喷水的压力，又可以对尼龙毛刷进行高效喷淋，喷淋效果好，流速适中；密封环和压盖构成的迷宫密封，可以防水，同时保证轴承的正常运行；毛刷罩底部开有放水槽，方便排水。本发明由于采用了毛刷罩和迷宫密封的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，安装简易，操作也十分方便。

附图说明

图1是本发明的结构剖视图，

图2是本发明的结构示意图。

附图标记：1-喷水管  2-毛刷罩(也即外罩)  3-毛刷棍  4-毛刷轴  5-密封环  6-压盖  7-外隔圈  8-内隔圈  9-轴承座  10-轴承11-轴承锁母  12-端盖  13刷毛。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步详细的说明。

如附图1、2所示，本发明一实施例半导体专用设备用吸片台毛刷式清洗装置，主要由喷淋系统、迷宫密封系统和毛刷棍系统等几部分组成，毛刷棍3穿过毛刷罩2安装在毛刷轴4上，毛刷棍3上均匀分布着浓密的尼龙刷毛13，能够较好得对吸片台进行清洗；在毛刷轴4上套有密封环5、轴承10、内隔圈8、外隔圈7、轴承10、端盖12、轴承锁母11等，轴承锁母11通过螺纹固定在毛刷轴4上，压盖6和端盖12固定在轴承座9上，两个喷水管1安装在毛刷罩2上。密封环5紧套在毛刷轴4上，压盖6固定在轴承座9上，密封环5和压盖6形成的迷宫密封，可以防水，保证轴承(10)的正常运行。毛刷罩2上安装有两个喷水管1，每个喷水管1相对毛刷棍3的位置开有稠密的小直径喷水口，既可以保证喷水的压力，又可以对尼龙毛刷进行高效喷淋；毛刷罩2底部开有方便排水的放水槽。