[发明专利]具预定图案的滚轮的制作方法无效
申请号: | 201010184425.4 | 申请日: | 2010-05-28 |
公开(公告)号: | CN102262355A | 公开(公告)日: | 2011-11-30 |
发明(设计)人: | 许嘉麟 | 申请(专利权)人: | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00;B24C1/00 |
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地址: | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 预定 图案 滚轮 制作方法 | ||
技术领域
本发明关于一种具预定图案的滚轮的制作方法,尤其涉及一种加工方便、精确度较高且滚轮寿命较长的具预定图案的滚轮的制作方法。
背景技术
目前光学薄膜以卷对卷(Roll-to-roll)压膜技术为量产制程之最大宗,而使用的滚轮的图案,其常见的制作方式有激光直写、激光化学蚀刻、机械雕刻等。
激光直写方法中,基材废料容易喷溅至蚀刻面,且蚀刻深度有限,而若使用氩激光则另需在铜轮上作镀锌的前处理。
激光化学蚀刻虽然除料速度快,却也因此不易控制,且有重复性不佳的疑虑。
机械雕刻依刀具可分成钻石针与钻石刀两种方式,前者因无法作连续车削而仅适合雕刻网点图案,后者加工时间长且具有刀具寿命问题。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种加工方便、精确度较高且滚轮使用寿命较长的具预定图案的滚轮的制作方法。
一种具预定图案的滚轮的制作方法,其包括:在待形成图案的滚轮表面形成干膜光阻;采用一曝光机并通过一光罩对所述干膜光阻曝光以在所述干膜光阻上形成第一图案;采用一喷砂机对所述第一图案所对应的所述滚轮表面进行喷砂处理以在所述滚轮上形成所述预定图案;去除干膜光阻。
与现有技术相比,本发明实施例的具预定图案的滚轮的制作方法在滚轮上进行干膜光阻的贴合与曝光操作,定义出图案后再结合喷砂处理,可制作出滚轮图案,由于省去电铸铜制程,喷砂制程使得滚轮材质不受限制,因此可使用机械强度较高的材料,除降低成本也可以延长滚轮使用寿命;另外,该方法可有效缩短滚轮图案制作周期,且根据光罩的不同图案变化大;并且由于可以设计较高精度的光罩,从而也使得图案具有较高的精度。
附图说明
图1是本发明实施例具预定图案的滚轮的制作方法的流程图。
图2是在滚轮上形成干膜光阻的示意图。
图3是对干膜光阻进行曝光的示意图。
图4是对曝光后的干膜光阻进行喷砂的示意图。
图5是去除干膜光阻的示意图。
主要元件符号说明
滚轮 10
干膜光阻 20
曝光机 30
光罩 40
第一图案 50
喷砂机 60
预定图案 70
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步详细说明。
请参阅图1,本发明实施例具预定图案的滚轮的制作方法包括如下步骤:
步骤S1,在待形成图案的滚轮表面形成干膜光阻。
步骤S2,采用一曝光机并通过一光罩对所述干膜光阻曝光以在所述干膜光阻上形成第一图案。
步骤S3,采用一喷砂机对所述第一图案所对应的所述滚轮表面进行喷砂处理以在所述滚轮上形成所述预定图案。
步骤S4,去除干膜光阻。
请参阅图2,在步骤S1中,将预形成图案的滚轮10代替卷对卷贴合机的滚轮,然后在履带21的一个表面上设置预定厚度和预定面积的干膜光阻20,转动滚轮10从而可直接把干膜光阻20贴合在滚轮10上。
当然,也可以在履带21的两个表面上设置干膜光阻20,以同时在两个滚轮10上贴合干膜光阻20。
请配合图3,在步骤S2中,采用一曝光机30并透过光罩40对干膜光阻20进行曝光。
在曝光过程中,将滚轮20设置在曝光机30的曝光区域,曝光机30发出的光线经过光罩入射到滚轮10上,转动滚轮10使得需要曝光的区域被完全曝光,从而在干膜光阻20上形成第一图案50,第一图案50对应光罩40上的图案,即光罩40上的图案完全转印到干膜光阻20上。
请参阅图4,在步骤S3中,采用喷砂机60对显影后的干膜光阻20进行喷砂处理,藉由压缩空气高速带动研磨砂材,喷击干膜光阻20上第一图案50所对应的滚轮10的表面,从而在滚轮10的表面上形成预定图案70,即滚轮10对应第一图案50的区域被喷砂蚀刻,换言之,滚轮10上没有被干膜光阻20覆盖的区域被喷砂蚀刻。
喷砂机60可以为干喷砂机或液体喷砂机,更进一步,为吸入式干喷砂机或压入式干喷砂机。
在步骤S3中,更进一步,可以利用二氧化碳清洗装置对喷砂后的滚轮进行清洗。由于二氧化碳在喷出瞬间系呈固态,故,可冲击残留在预定图案70内的研磨砂材,而使其自预定图案70内脱出,此时,二氧化碳也从固态转变为气态,因此不致残留在滚轮10上。
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