[发明专利]一种改进太阳能电池的扩散方法

权利要求书

1.一种改进太阳能电池的扩散方法，其特征在于：

第一步：采用硅原料，导电类型P型；

第二步：扩散：把上述硅原料在850～900℃气氛中与氧气，三氯氧磷发生化学反应，产生磷、五氯化磷、五氧化二磷、氯气；主要化学方程式如下：

Si+O2＝SiO2

5POCl3＝P2O5+3PCl5(高温)

4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2(高温)

2P2O5+5Si＝4P+5SiO2；

第三步：高温通氧推进，扩散步骤后再通入氧气3L/min，与未消耗完的PCl5继续反应产生磷：4PCl5+5O2＝2P2O5+10Cl2(高温)

2P2O5+5Si＝4P+5SiO；

第四步：通氧推进后继续通入大氮30L/min，停止通小氮，氧气3L/min，持续600s；温度控制在830～900℃；

第五步：经过上述步骤，得到表面方块为48～52Ω/□硅片。

2.根据权利要求1所述的一种改进太阳能电池的扩散方法，其特征在于：所述的第二步扩散的温度控制在：850～890℃；扩散气体流量：大氮：25～35L/min；小氮1.1L/min；氧气1.5～2.8L/min；持续时间为2000s。

3.根据权利要求1所述的一种改进太阳能电池的扩散方法，其特征在于：所述的第三步高温推进的温度控制在870～890℃；气体流量：大氮25L/min；停止通小氮；氧气：3L/min；时间500s。