[发明专利]一种真空机无效
| 申请号： | 201010186439.X | 申请日： | 2010-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN101892454A | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 沈中良 | 申请（专利权）人： | 平湖市东洋塑胶真空涂膜厂 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 韩洪 |
| 地址： | 314206 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空机 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空机，包括真空罩(1)、蒸发电极(2)和蒸发电流控制器(3)，所述蒸发电极(2)设置在真空罩(1)内，所述蒸发电极(2)还与真空罩(1)外的蒸发电流控制器(3)相连，其特征在于：还包括离子发生器(4)和离子发生控制器(5)，所述离子发生器(4)设置在真空罩(1)内，所述离子发生器(4)与真空罩(1)外部的离子发生控制器(5)相连。
2.如权利要求1所述的一种真空机，其特征在于：所述离子发生器(4)为铝棒。
3.如权利要求1所述的一种真空机，其特征在于：所述离子发生器(4)为铜棒。
4.如权利要求1至3中任一项所述的一种真空机，其特征在于：所述真空罩(1)上通过气量控制阀(6)连接氩气罐(7)。
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