[发明专利]盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201010188189.3 | 申请日： | 2010-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101898987A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 市川幸司;杉原昌子;增山达郎 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C309/17;C07C303/32;C07D307/00;G03F7/039;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柳春琦 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 以及 含有 光致抗蚀剂 组合 | ||
1.一种以式(I-CC)表示的盐：
其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基，
X1表示单键或-(CH2)k-，并且-(CH2)k-中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，并且-(CH2)k-中的一个或多个氢原子可以被C1-C4脂族烃基取代，并且k表示1至17的整数，
Y1表示C1-C36脂族烃基，C3-C36脂环族烃基或C6-C36芳族烃基，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基和所述芳族烃基可以具有一个或多个不含氟原子的取代基，并且所述脂族烃基和所述脂环族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，
A1和A2各自独立地表示C1-C20脂族烃基，C3-C20脂环族烃基或C6-C20芳族烃基，或A1和A2彼此结合以形成C3-C20环，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基，所述芳族烃基和所述环中的一个或多个氢原子可以被羟基，C1-C12烷基，C1-C12烷氧基或C3-C36脂环族烃基取代，
Ar1表示可以具有一个或多个取代基的(m4+1)价C6-C20芳族烃基，
B1表示单键或C1-C6亚烷基，并且所述亚烷基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，
B2表示能够通过酸的作用消除的基团，
m1和m2各自独立地表示0至2的整数，m3表示1至3的整数，条件是m1+m2+m3＝3，并且m4表示1至3的整数。
2.根据权利要求1所述的盐，其中Y1表示C1-C36脂族烃基，C3-C36脂环族烃基或C6-C36芳族烃基，并且所述脂族烃基，所述脂环族烃基和所述芳族烃基中的一个或多个氢原子可以被氯原子，溴原子，羟基，氰基，C2-C7酰基，C2-C18酰氧基，C1-C6烷氧基，C2-C7烷氧羰基，C1-C12脂族烃基，C3-C10脂环族烃基或C6-C20芳族烃基取代，并且所述脂族烃基和所述脂环族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，并且所述C6-C20芳族烃基中的一个或多个氢原子可以被C1-C12脂族烃基，C3-C10脂环族烃基或C1-C6烷氧基取代，并且
Ar1表示(m4+1)价C6-C20芳族烃基，并且所述芳族烃基中的一个或多个氢原子可以被卤素原子，羟基，C1-C12脂族烃基，C3-C10脂环族烃基，C2-C4酰基或C1-C6烷氧基取代。
3.根据权利要求1所述的盐，其中B2是以式(B2-1)表示的基团：
其中Rc1，Rc2和Rc3各自独立地表示C1-C18直链、支链或环状烃基，并且Rc1和Rc2可以相互结合以形成C3-C36环，并且所述环中的一个或多个氢原子可以被卤素原子，羟基，C1-C12脂族烃基，C1-C12烷氧基，C1-C12烷氧羰基，C2-C7酰基或C2-C7酰氧基取代，并且所述环状烃基和所述环中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替。
4.根据权利要求1所述的盐，其中Ar1是亚苯基并且m4为1。
5.根据权利要求1所述的盐，其中m1，m2和m3为1。
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