[发明专利]导气管装置有效

专利信息
申请号: 201010188998.4 申请日: 2010-05-17
公开(公告)号: CN102254841A 公开(公告)日: 2011-11-23
发明(设计)人: 刘志益 申请(专利权)人: 南茂科技股份有限公司
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 任永武
地址: 中国台湾新竹科*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 气管 装置
【权利要求书】:

1.一种导气管装置,具有沿第一轴向、第二轴向与第三轴向的构形,其中,该第一轴向、第二轴向与第三轴向彼此为正交,该导气管装置包含有:

一本体,沿第二轴向的两端为头端与尾端、沿第三轴向的两端为两侧壁,该本体的头端附近沿第一轴向形成有一贯穿的第一通孔,该本体进一步包含有第一气孔与旁路气孔,该第一气孔是沿第二轴向配置,且贯通该本体的尾端与该第一通孔,该旁路气孔一端连通至该第一气孔,另一端连通至该第一通孔;以及

一尾管,接合至该本体的尾端,沿第二轴向形成有一贯穿的第二通孔,该第二通孔连通至该第一气孔。

2.根据权利要求1所述的导气管装置,其特征在于,该旁路气孔包含一对第二气孔、一对第三气孔与一对第四气孔,其中该等第二气孔的两端为封闭,该等第三气孔与第四气孔靠近于该本体的侧壁处为封闭,各第三气孔同时连通各第二气孔与该第一气孔,各第四气孔同时连通各第二气孔与该第一通孔,这些第二气孔是沿第二轴向配置,这些第三气孔与这些第四气孔是沿第三轴向配置,该第一通孔位于这些第二气孔之间,以及该本体头端于这些第二气孔处,进一步形成有一对凹陷的肩部。

3.根据权利要求2所述的导气管装置,其特征在于,进一步包含多个气密件,设置于这些第二气孔靠近该本体头端处、这些第三气孔靠近该本体侧壁处、以及这些第四气孔靠近该本体侧壁处,以及这些第二气孔、第三气孔与第四气孔的孔径均小于该第一通孔与第一气孔。

4.一种导气管装置,具有沿第一轴向、第二轴向与第三轴向的构形,其中,该第一轴向、第二轴向与第三轴向彼此为正交,该导气管装置包含有:

一本体,以多孔性陶瓷制作而成,该本体具有一外表面,且该本体沿第二轴向的两端为头端与尾端,该本体的头端附近沿第一轴向形成有一贯穿的第一通孔,该本体沿第二轴向形成有一第一气孔,该第一气孔贯通该本体的尾端与该第一通孔;

一尾管,接合至该本体的尾端,沿第二轴向形成有一贯穿的第二通孔,该第二通孔连通至该第一气孔;以及

气密包覆件,包覆于该第一通孔以外的该本体的外表面。

5.一种导气管装置,具有沿第一轴向、第二轴向与第三轴向的构形,其中,该第一轴向、第二轴向与第三轴向彼此为正交,该导气管装置包含有:

一本体,沿第二轴向的两端为头端与尾端、沿第三轴向的两端为两侧壁,该本体的头端附近沿第一轴向形成有一贯穿的第一通孔,该本体进一步包含有第一气孔与旁路气孔,该第一气孔是沿第二轴向配置,且贯通该本体的尾端与该第一通孔,该旁路气孔一端连通至该第一气孔,另一端连通至该第一通孔;

一尾管,接合至该本体的尾端,沿第二轴向形成有一贯穿的第二通孔,该第二通孔连通至该第一气孔;以及

一外管,具有一底管与连接于底管两端的两个侧管,藉此形成一个U形管,使该本体恰容置于该U形管所形成的区域内,且该本体的头端靠近该底管,该外管进一步包含有旁路流道与多个排气孔,该旁路流道配置于该底管与这些侧管的内部,这些排气孔一端连通至该旁路流道,另一端连通至外管的外部。

6.根据权利要求5所述的导气管装置,其特征在于,其中该旁路流道进一步包含有第五气孔与一对第六气孔,该第五气孔是沿第三轴向配置于底管,且两端为封闭,各第六气孔是沿第二轴向配置于各侧管,且这些第六气孔均连通至该第五气孔。

7.一种导气管装置,具有沿第一轴向、第二轴向与第三轴向的构形,其中,该第一轴向、第二轴向与第三轴向彼此为正交,该导气管装置包含有:

一本体,以多孔性陶瓷制作而成,该本体具有一外表面,且该本体沿第二轴向的两端为头端与尾端,该本体的头端附近沿第一轴向形成有一贯穿的第一通孔,该本体沿第二轴向形成有一第一气孔,该第一气孔贯通该本体的尾端与该第一通孔;

一尾管,接合至该本体的尾端,沿第二轴向形成有一贯穿的第二通孔,该第二通孔连通至该第一气孔;

气密包覆件,包覆于该第一通孔以外的该本体的外表面;以及

一外管,具有一底管与连接于底管两端的两个侧管,藉此形成一个U形管,使该本体恰容置于该U形管所形成的区域内,且该本体的头端靠近该底管,该外管进一步包含有旁路流道与多个排气孔,该旁路流道配置于该底管与这些侧管的内部,这些排气孔一端连通至该旁路流道,另一端连通至外管的外部。

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